Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9205197 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan ist eine Wafer-Test- und Metrologie-Ausrüstung, die mit der „Blue Scan“ -Bild- und Mapping-Technologie Daten über Wafer-Funktionen und Wafer-Defekte erfasst. Dieses System ermöglicht eine erfolgreiche Messung von Wafern für zwei große Zwecke: erstens wird es verwendet, um die Topographie von Wafern zu messen, um festzustellen, ob sich der Wafer innerhalb der Spezifikation befindet; und zweitens wird es verwendet, um potenzielle Defekte in der Waferoberfläche oder in Produktvorrichtungen, die sich auf dem Wafer befinden, zu erkennen. KLA 6420 Surfscan bietet überlegene topographische Bildgebungs- und Messfunktionen. Es verwendet sowohl Vorwärtsstreuung als auch Backscatter-Bildgebungstechniken, um 2D Blue Scan-Bilder von Waferoberflächen zu erzeugen. Die Bilder enthalten auch Informationen über die Topographie der Merkmale des Wafers, wie Höhe, Breite, Steigung und Radius, bis zu 0,05 µm. Diese Bilder werden ausgewertet und mit festgelegten Standards verglichen, um sicherzustellen, dass der Wafer innerhalb seiner gewünschten Spezifikationen ist. TENCOR 6420 Surfscan enthält auch eine fortschrittliche optische Erkennungstechnologie namens Automated SmartAnalyzer, die Fehler anhand der optischen Eigenschaften von Defekten erkennen kann, wie sie in den 2D Blue Scan Bildern gezeigt werden. Diese Technologie verwendet eine ausgeklügelte Kombination von Algorithmen, um verschiedene Arten von Defekten zu identifizieren und zu klassifizieren, wie Partikelkontamination, Überätzen und Kratzern. Automated SmartAnalyzer ist auch in der Lage, detailliertere Informationen über Fehlertypen wie Größe, Form und Tiefe bereitzustellen. Dieses Gerät enthält auch eine Fehleranalyse-Software namens ProSystem, die zur Analyse von Fehlerdaten von PROMETRIX 6420 Surfscan verwendet werden kann. Mit ProSystem können Benutzer detaillierte Berichte über Fehlergröße, Verteilung, Standort und Typ erstellen. Diese Software-Suite umfasst integrierte statistische Prozesse, die dazu beitragen können, Trends in Datensätzen im Laufe der Zeit zu identifizieren. Insgesamt ist 6420 Surfscan eine leistungsstarke und vielseitige Wafertest- und Messtechnik-Maschine, die beispiellose Bildgebungs- und Messfähigkeiten bietet. Die Kombination aus Blue Scan-Bildgebung, automatisierter SmartAnalyzer-Technologie und ProSystem-Analysesoftware macht es zu einem wirksamen Werkzeug für Wafer-Oberflächenbildgebung, Fehlererkennung und Fehleranalyse.