Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9207287 zu verkaufen

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ID: 9207287
Weinlese: 1996
Inspection system 1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für die Präzisionsanalyse elektrischer und optischer Eigenschaften von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Dieses System verwendet fortschrittliche optische und Elektronenstrahltechniken, um flache und tiefe Sub-Mikron-Funktionen zu scannen, um Defekte, Verunreinigungen und elektrische Eigenschaften jedes Wafers zu erkennen. KLA 6420 Surfscan arbeitet mit einem hochauflösenden Bild der Oberfläche des Wafers, das dann in eine elektrische Karte umgewandelt wird. Mit dieser elektrischen Karte werden dann verschiedene Parameter wie elektrisches Potential, Oberflächenmerkmale und Filmdicke gemessen. Darüber hinaus ist TENCOR 6420 Surfscan in der Lage, die Tiefe von Gräben und Vias sowie die Rauheit der Waferoberfläche genau zu messen. Dies ermöglicht die Erkennung von Defekten und Verunreinigungen, die mit bloßem Auge möglicherweise nicht sichtbar sind. 6420 Surfscan verfügt auch über erweiterte Funktionen wie ein Vergleichswerkzeug, das den Vergleich von Eigenschaften zwischen Wafern und einem CAT (Comparative Analysis Tool) ermöglicht, das den einfachen Vergleich verschiedener Datenpunkte ermöglicht. PROMETRIX 6420 Surfscan verwendet fortschrittliche hochauflösende Scantechniken, einschließlich E-Strahl und Laserscannen, um die Topographie des Wafers genau zu messen. Dies gibt KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan die Fähigkeit, in die Waferoberfläche und -struktur eingebettete Defekte und Verunreinigungen zu erkennen. Durch den Einsatz der KLA GeoCorrectTM Technologie kann der KLA 6420 Surfscan automatisch alle Oberflächenrauhigkeiten und andere nicht geometrische Faktoren korrigieren. TENCOR 6420 Surfscan ist eine leistungsstarke Einheit, die eine Vielzahl von Funktionen enthält, die dazu beitragen, die Produktion zu beschleunigen und die Qualitätskontrolle zu verbessern. Die Maschine wurde so konzipiert, dass sie einfach zu bedienen ist, mit intuitiven Menüs und Tasten, die eine schnelle Erkundung der von 6420 Surfscan erfassten Daten ermöglichen. Durch den Einsatz fortschrittlicher Scantechniken ist PROMETRIX 6420 Surfscan in der Lage, die Wafereigenschaften mit einer beispiellosen Präzision zu analysieren und genau zu messen.
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