Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9209993 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9209993
Wafergröße: 4"
Weinlese: 1995
Unpatterned surface inspection system, 4"
Set up for 4" x 4" substrate
Non patterned wafer film surface analyzer
Sub micron particles:
Polysilicon
Tungsten
Epitaxial
Polished silicon
Round or rectangular subtrates: 4", 5", 6", 8"
Configured for 4 x 4 square wafers
Setup with CD rom
Automatic wafer handler
Capture rate on bare silicon: 0.1 um @95% Sensitivity
Spatial resolution: 50 um
Contamination less than 0.005 particles / cm² greater than 0.15 um
Haze sensitivity: 0.02 ppm
Defect map and histogram with zoom
2D Signal integration
Non contaminating robotic handler
X-Y Coordinates
Random access for sender / Receiver unit
SECS GEM Capable
Illumination source: 30 mW Argon-ion laser
Wavelength: 488 nm
Operating system: Microsoft Windows 98
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan ist eine umfassende Wafer-Prüf- und Messtechnik, die entwickelt wurde, um Ingenieuren und Technikern, die detaillierte Informationen über ihre Halbleiterprodukte benötigen, hochwertige Daten zur Verfügung zu stellen. Dieses Werkzeug ist in der Lage, Oberflächen-, Defekt-, Überlagerungs-, Rauheits-, Haftungs- oder Verschmutzungsanalysemessungen an einer Vielzahl von Wafertypen, -größen und -formen durchzuführen. Es wird verwendet, um die Qualität der Oberfläche und Defekte eines Wafers zu überprüfen und die Leistung von mikroelektronischen Schaltungen und Leiterbahnen zu analysieren. KLA 6420 Surfscan umfasst mehrere Detektionssysteme und ein Analysefunktionsset zur Messung der Oberflächeneigenschaften auf Mikroniveau mit einer Auflösung von 0,1 Mikrometern. Es verfügt über einen variablen Sichtfeld-Modus, der einen vollständigen Wafer-Scan in einem Durchgang ermöglicht, mit einstellbaren Vergrößerungseinstellungen von bis zu 10x für die mikroskopische Analyse. Es ist in der Lage, drei verschiedene Arten von Defekten zu messen, einschließlich Partikel, Stiftloch und Schmutz, und kann sowohl Bilder und Datenpunkte gleichzeitig erhalten. Das automatisierte Mess- und Erkennungssystem kann eine dreidimensionale Analyse der Oberfläche des Wafers und eine Gesamtfehlerkarte liefern, so dass der Benutzer Problembereiche identifizieren und ansprechen kann. TENCOR 6420 Surfscan verwertet fortgeschrittene Algorithmen und verwertet eine ultrahohe Geschwindigkeit elektrostatische Maßeinheit, einmalige Genauigkeit und Wiederholbarkeit berücksichtigend. Zusätzlich ist es eingerichtet, um Kantenereignisse zu erkennen, Fehlalarme zu minimieren, versteckte Defekte zu erkennen und Messungen an verschiedenen Prozessfenstern durchzuführen. Es kann auch Waferdefekte außerhalb des Randbereichs erkennen und messen, die normalerweise von anderen Systemen verfehlt würden. Die benutzerfreundliche Oberfläche dieses Instruments ermöglicht auch eine schnelle Einrichtung und Detailanalyse. Darüber hinaus ist es mit einer automatischen Kalibrierungsfunktion ausgestattet, die Benutzerschulungen, Zeit und Kosten reduziert. Darüber hinaus ist es in einer Kaskadenmaschine mit ausfallsicheren Maßnahmen konzipiert, um Benutzereingriffe zu minimieren und die Datengenauigkeit zu erhöhen. Insgesamt ist 6420 Surfscan eines der genauesten und vielseitigsten Wafer-Prüf- und Messtechnikwerkzeuge, die es heute gibt. Es wurde entwickelt, um die zuverlässigste und präziseste Fehlererkennung zu bieten, und seine benutzerfreundliche Konstruktion macht es einfach zu bedienen und zu warten. Dieses All-in-One-Wafer-Messwerkzeug ist die perfekte Wahl für jeden Bedarf an Halbleiterproduktprüfung und -analyse.
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