Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9221587 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik. Das System kann für verschiedene messtechnische Anwendungen wie kritische Dimension (CD) Fehlerinspektion, Nanotopographie, Overlay-Ausrichtung, Wafer-Level-CD-Messtechnik, Gleichmäßigkeitsmessungen usw. verwendet werden. Das Gerät setzt fortschrittliche optische, elektrische und mechanische Technologien ein, um den Anforderungen hochpräziser Mess- und Produktionsüberwachungsaufgaben gerecht zu werden. Zu den Schlüsselkomponenten der Maschine gehören ein automatisiertes Wafer-Handhabungswerkzeug, eine Mehrstationen-Drehfutterstufe, ein großflächiger Detektor, ein Laserscanner, ein Rasterelektronenmikroskop (SEM) und ein ausgerichtetes Teleskop-Bildgebungsgut. Das automatisierte Wafer Handling-Modell ermöglicht eine effiziente Probenübertragung und Beladung zwischen den verschiedenen Gerätekomponenten. Die Mehrstation-Drehfutterstufe wird verwendet, um die Probe mit Geschwindigkeiten von bis zu 4000 U/min zu drehen. Der großflächige Detektor sammelt Systemdaten, einschließlich Bilddaten und anderer Prozessqualitätsparameter. Dieser Detektor verwendet ein einzigartiges ladungsgekoppeltes Gerät (CCD) und eine Photomultiplier-Technologie, um Hochgeschwindigkeitssignalerfassung und -übertragung bereitzustellen. Der 16-Bit-Laserscanner verwendet Laserstrahlen zur genauen Analyse von Oberflächenmerkmalen, kritischen Merkmalsgrößen und Defekten. Das SEM dient zur Erzeugung von Submikron-Auflösungsbildern, die zur Fehlerinspektion und -messung verwendet werden. Die Bildaufnahmeprozesse werden durch den Einsatz rauscharmer Abbildungskette verstärkt. Dies ermöglicht eine hohe Genauigkeit von Größen- und Formmessungen kleinerer Merkmale. Die ausgerichtete Fernrohrbildaufbereitungseinheit wird verwendet, um Submikronbedeckungsanordnungsgenauigkeiten unter verschiedenen Schichten der Oblate zu messen. Diese Maschine kombiniert eine hochauflösende Videokamera mit einer XY-Bewegungsstufe mit geschlossener Schleife und leistungsfähiger Bildanalysesoftware, um die besten Overlay-Genauigkeitswerte zu liefern. Das Tool enthält auch ein Monitor-Asset mit einer Vielzahl von Eingabeoptionen. Es ermöglicht Benutzern, Echtzeit-Beispielbilder und andere prozessbezogene Informationen bis zu 1000-facher Vergrößerung anzuzeigen. Die Daten werden über die On-Board-Festplatte übertragen und gespeichert, die zur weiteren Analyse oder Archivierung auf jedes Remote-Gerät gesichert oder heruntergeladen werden kann. KLA 6420 Surfscan Modell ist eine hochentwickelte Ausrüstung für Wafertests und Messtechnik. Es liefert zuverlässige und genaue Ergebnisse bei hohen Geschwindigkeiten, gesichert mit einer ausgezeichneten Benutzererfahrung. Das System verfügt über automatisierte Wafer-Handling-Technologie, hochwertige bildgebende Systeme und leistungsfähige Software, um genaue Ergebnisse für Wafer-Level-CD-Messtechnik, Nanotopographie, Overlay-Ausrichtung und Gleichmäßigkeitsmessung Anwendungen zu liefern.