Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9254029 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Halbleiterherstellung. Es ist speziell für die Inspektion und Analyse der Defektivität fortgeschrittener Lithographieverfahren sowie für die Messung und Quantifizierung der Parameter der Oberfläche eines Wafers konzipiert. Der Surfscan 6420 besteht aus einem vollautomatischen Wafer-Handling-System, einer hochauflösenden Bildgebungseinheit und einer patentierten Strahl-Shift-Technologie, die eine hochauflösende Bildgebung ermöglicht. Die Maschine ist in der Lage, berührungslose optische Inspektionen bis zu 45 mm durchzuführen, und kann auch Oberflächenparameter auf jeder Größe Wafer bis zu 300 mm messen und quantifizieren. Darüber hinaus verfügt das Tool über fortschrittliche Software, die Fehler verschiedener Größen zuverlässig finden kann, sowie automatisierte Messroutinen, die wiederholbare und zuverlässige Daten liefern. Das Asset verwendet hochauflösende Bildgebung, um Fehler wie Partikel, Kratzer und Druckanomalien zu erkennen, die sonst mit herkömmlichen Testmethoden schwer zu finden wären. Bilder werden dann durch ein automatisiertes Bildverarbeitungsmodell analysiert, das die Bilder mit zulässigen Vorlagen und Toleranzen vergleicht. Zur Ausstattung gehört auch ein Software Development Kit für Anwender, um maßgeschneiderte Mess- und Analyseanwendungen zu erstellen. Zusätzlich zu seinen Fehlererkennungsfunktionen verfügt der Surfscan 6420 über Musterüberlagerung und optimierte Konturierungswerkzeuge. Dies ermöglicht es, eine Vielzahl von Parametern genau zu messen, einschließlich Linien-Kanten-Rauheit, Schritthöhe, Breite und Seitenwandwinkel. Die automatisierten Software-Erkennungsalgorithmen des Systems können diese Parameter über einen ganzen Wafer oder über einzelne Werkzeuge messen und dann die Ergebnisse in leicht lesbaren Graphen quantifizieren. Insgesamt ist KLA 6420 Surfscan eine leistungsstarke und fortschrittliche Wafertest- und Messtechnik-Einheit. Es wurde entwickelt, um die strengsten Industriestandards zu erfüllen und bietet Präzision und Genauigkeit bei der Erkennung und Messung von Halbleiterdefekten. Mit vollautomatischen Prozessen, einfach zu bedienender Software und hochauflösender Bildgebung ist der Surfscan 6420 ein unschätzbares Werkzeug für Halbleiterhersteller.