Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9254828 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan
Verkauft
ID: 9254828
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
System, 8" 1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan ist ein fortschrittliches Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das eine umfassende Oberflächencharakterisierung des Wafers ermöglicht. Speziell die 6420 bietet eine breite Palette von Power Signature Analysis (PSA), Filmen und Topographie Messungen einschließlich Höhenkalibrierungen, Kapazität, Leitfähigkeit, kritische Dimension (CD), Rauheit, Homogenität, Streuung und Linienbreite Variationen, über eine ganze Reihe von Probengrößen und Komplexität. Die 6420 ist eine integrierte Einheit, die die schnellste und genaueste Prüfung der Waferoberfläche ermöglicht. Es kombiniert die Metrology Stabilization (MSC) -Technologie mit dem branchenführenden ProScan und ermöglicht präzise und schnelle Messungen von Atomprofilen. Mit patentierten Algorithmen bietet die 6420 präzise Oberflächencharakterisierungsfunktionen mit 0,2 nm Raumauflösungen und 1-2 nm vertikalen Auflösungen. Die Maschine ist auch in der Lage, Schlüsselmerkmale wie Pads, Gräben, Vias und Gate automatisch zu erkennen und Kantenerkennungsfunktionen bereitzustellen. Die 6420 ist ein integriertes Werkzeug, das eine Reihe von Sensoren mit verschiedenen Fähigkeitssätzen und Messmethoden verfügt. Dazu gehören Lösungen für geneigte, ungleichmäßige und gekrümmte Muster, mehrstufige Messungen oder sowohl ein- als auch mehrwellige PSA-Messungen. Es bietet auch verschiedene Kalibriermodi wie Selbstkalibrierung, Wassertauchen, Kalibrierlinien und manuelle Pad-Scans. Die 6420 bietet branchenführende Wiederholbarkeit von Messungen mit weniger als 3 nm Bruchbildunsicherheit. KLA 6420 Surfscan ist ein intuitives und einfach zu bedienendes Asset mit benutzerfreundlicher Oberfläche und grafischen Analysetools. Es ist auch sehr konfigurierbar mit anpassbaren Einstellungen, so dass Benutzer das Modell auf ihre genauen Anforderungen anpassen können. Die 6420 verfügt über eine beeindruckende Auswahl an erweiterten Funktionen und bietet eine große Vielseitigkeit für Wafertests. Es ist eine ideale Ausrüstung für jede Produktionslinie oder Labor, wo detaillierte Waferoberflächencharakterisierung erforderlich ist.
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