Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #9285832 zu verkaufen

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan
Verkauft
ID: 9285832
Measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik (WTM) -Ausrüstung, die eine umfassende Waferinspektion mit einem beeindruckenden Gesamtprozessdurchsatz bietet. Das System ist mit einer breiten KLA-Familie von variablen Wafer-Inspektionsoptionen ausgestattet, die sowohl MEMS als auch fortschrittliche CMOS-Technologien unterstützen. Es enthält ein optimiertes Design, das kritische Probleme wie Wiederholbarkeit, Einheitlichkeit und Leistung angeht. Der 6420 unterstützt bis zu sechs Detektoren in jeder Kombination aus automatisierten optischen Inspektionen und/oder Stempelflächenmessungen. Es ist mit einer XY-Stufenbewegungseinheit mit mehreren Positionen ausgestattet, die lineare Stufen und eine Vielzahl anderer optischer Inspektionstechniken unterstützt. Tatsächlich verfügen die optischen Stufen der 6420 auch über Punkt-zu-Punkt-Ausrichtungssoftware, um eine genaue Ausrichtung der Sensoren zu gewährleisten. Diese modernste Ausrichtungssoftware bietet hohe Genauigkeit, reduzierte Feldverzerrung und verbesserte Wiederholbarkeit. KLA 6420 Surfscan verfügt zudem über eine integrierte Substrathandhabungsmaschine für verbesserte Substrattreue und verlängerte Standzeit. Es ist mit einem einzigartigen Auto-WideField-Asset ausgestattet, das es Anwendern ermöglicht, das Stufentauschen weiter zu reduzieren und die Genauigkeit der Substratzentrierung zu verbessern. Dies gewährleistet genauere Messungen während des gesamten Prozesses. Das Auto-WideField-Modell wird auch durch TENCOR Laser Interferometric Overlay Equipment (LOMS) ergänzt, was die Overlay-Leistung deutlich verbessert. Darüber hinaus bietet TENCOR 6420 Surfscan umfassende Funktionen zur Datenerfassung, -analyse, -visualisierung und -berichterstattung. Dieses leistungsstarke Softwarepaket ermöglicht es Benutzern, Daten schnell und einfach zu analysieren und anzuzeigen sowie Prozessoptimierungsskripte auszuführen. Die 6420 unterstützt zudem eine vollautomatische Systemsteuerung, die eine nahtlose Integration in bestehende Fab-Anlagen ermöglicht. PROMETRIX 6420 Surfscan ist eine fortschrittliche WTM-Einheit, die eine beeindruckende Menge an Features und modernster Technologie bietet. Seine umfassenden Fähigkeiten und Zuverlässigkeit machen es zu einer idealen Maschine für eine Vielzahl von Waferinspektions- und messtechnischen Anwendungen. Die 6420 steigert die Produktionseffizienz und den Durchsatz erheblich und liefert gleichzeitig eine hervorragende Rendite.
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