Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 7200 Surfscan #2304 zu verkaufen
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ID: 2304
Patterned wafer inspection system
Repeatability: < 3%
Mean count: 500 Particles
Diameter latex spheres: 0.5um
Resolution: 0.4um Diameter latex spheres
Substrate: SEMI Thickness standard wafer 0.3 - 0.75 mm
Substrate size: 100, 125, 150 & 200 mm
Throughput:
(22) Wafers / Hour (150 mm)
(19) Wafers / Hour (200 mm).
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan ist eine führende Edge-Wafer-Prüf- und Metrologie-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um Hochdurchsatz, zerstörungsfreie Prüfung und Messtechnik von Halbleiterscheiben zu ermöglichen. Das System integriert erweiterte Test- und Inspektionsfunktionen mit bewährten Algorithmen und Variablen und bietet Anwendern die genauesten verfügbaren Wafertest- und messtechnischen Ergebnisse. Das fortschrittliche Design von KLA 7200 Surfscan ermöglicht zerstörungsfreie Wafertests und Messtechnik zu einem Bruchteil der Zeit und Kosten, in denen traditionelle Verfahren verwendet werden. Das Gerät ist mit einer hochmodernen optischen Mikroskopiemaschine ausgestattet, mit der makroskopische Tests sowie mikroskopische Analysen zur Partikelmessung, Ätztiefenmessung, Topographie-Kartierung und Linienbreitenkennzeichnung durchgeführt werden. TENCOR 7200 Surfscan kommt auch mit einer Low-Force-Wafer-Sonde, die es Anwendern ermöglicht, ICs und andere Komponenten bald nach der Herstellung zu untersuchen. PROMETRIX 7200 Surfscan ist hochautomatisiert und verfügt über eine Vielzahl von Funktionen zur Optimierung von Wafertest- und Metrologieprozessen. Diese Eigenschaften schließen ein völlig automatisiertes Oblatenberührenwerkzeug, eine hochauflösende CCD-Kamera ein, die für automatisierte Partikelnmaße und einen Hochleistungsdatenerfassungsvermögenswert verwendet ist, der für die Defektanalyse und Seiteninspektion verwendet ist. Das Modell bietet auch einzigartige Merkmale wie die Möglichkeit, automatisierte optische Inspektion mit anderen sehr hohen Vergrößerungen (VHM) und Barrier Defect Inspection (BDI) zu integrieren. Was die Leistung angeht, führt 7200 Surfscan das Paket in Wafer-Test-und-Inspektion-Fähigkeiten. Seine hochpräzisen Algorithmen liefern zuverlässige Testergebnisse mit verbesserter Genauigkeit, Wiederholbarkeit und statistischer Zuverlässigkeit. Die fortschrittliche Optik erzeugt präzise Bilder bei hohen Auflösungen. Und seine Niederkraft-Wafer-Sonde lindert das Risiko von Schäden an empfindlichen Komponenten und hält die Integrität von Testproben aufrecht. Kurz gesagt, KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan ist ein Wafer-Test- und Messtechnik-System, das präzise und genaue Ergebnisse zu einem Bruchteil der Zeit und Kosten im Vergleich zu herkömmlichen Methoden ermöglicht. Seine fortschrittliche Technologie und leistungsstarke Funktionen machen es zur idealen Lösung für komplette und zuverlässige Halbleitergeräteprüfung und Messtechnik.
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