Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 7200 Surfscan #9255577 zu verkaufen

ID: 9255577
Weinlese: 1990
Patterned wafer inspection system 1990 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7200 Surfscan ist eine Oberflächenanalyse und messtechnische Ausrüstung, die für die Prüfung und Messung auf Waferebene konzipiert ist. Es ist ein vielseitiges Wafer-Mapping-Tool, das zuverlässige und genaue Messungen durch mehrere Anwendungen wie Waferdicke, Fehlerstelle und Oberflächenrauhigkeit bereitstellen kann. Es wurde für die Verwendung von Optik und berührungsloser Atomkraftmikroskopie (NCAFM) entwickelt, um Messungen mit 4X oder höherer Auflösung im Bereich von 0,1 nm bis 3 + mm bereitzustellen. Das System läuft auf Windows PC mit einer Hochleistungsbildanschaffungseinheit, um Bilddaten zu gewinnen, Echtzeitverarbeitung von Maßen berücksichtigend, während die Daten erworben werden. Surfscan 7200 verwendet eine Kombination aus Optischer Mikroskopie (OM) und berührungsloser Atomkraftmikroskopie (NCAFM), um detaillierte Daten zur Oberflächenmorphologie eines Wafers bereitzustellen. NCAFM verwendet ein Niedrigtemperaturnanometer-Beschlusskraftmikroskop, um die Höhe, Rauheit und Form einer Oberfläche sowohl in 2D als auch in 3D zu messen. Die NCAFM-Maschine enthält einen Z-Scanner, der ein automatisiertes Hochgeschwindigkeits-Scannen der gesamten Oberfläche ermöglicht, was zu einer genauen Topographie-Karte führt. Das OM-Tool verwendet eine hochauflösende Farbkamera und LED-Hintergrundbeleuchtung, um die Oberflächendetails eines Wafers anzuzeigen und zu messen. Es ist die Schnittstelle zwischen den beiden Systemen, die Surfscan 7200 ermöglicht, die Oberfläche eines Wafers minutengenau zu messen. Surfscan 7200 verfügt über eine X/Y-Stufe mit zwei unabhängigen Messachsen und einem Bereich von 6 mm Durchmesser mit einer maximalen Auflösung von 0,1 nm. Die XY-Bühne kann den Wafer über die optische und NCFFM-Messeinrichtung für detaillierte 3D-Scans bewegen. Das Modell ist auch mit Hardware- und Softwarekomponenten für kundenspezifische Automatisierung, Messung, Bildgebung und Datenanalyse ausgestattet. Surfscan 7200 enthält zusätzliche Hardware- und Softwarepakete wie AutoFocus, Hot/Cold Decking und DataLink-Software für den Anschluss an Inline-Messsysteme. Der Surfscan 7200 verfügt über eine einfach zu bedienende Software, die die Programmierzeit des Benutzers reduziert, indem vorkonfigurierte und bewährte Parameter wie optimierte Scangeschwindigkeit und -größe für Wafer-Pegelmessungen bereitgestellt werden. Es ermöglicht dem Benutzer auch, Einstellungen für bestimmte Anwendungen anzupassen. Die Software ist in der Lage, detaillierte Datenanalysen zu generieren, einschließlich Oberflächentopographie, Fehlerinspektion, Merkmalsanalyse und vieles mehr. Darüber hinaus entspricht die Software verschiedenen internationalen Standards sowie den SEMI-Standards. Surfscan 7200 ist eine messtechnische Ausrüstung nach Industriestandard, die für Tests und Messungen auf Waferebene entwickelt wurde. Es ist mit fortschrittlicher Technologie gebaut, die eine hochgenaue und zuverlässige Messung auf schnelle und effiziente Weise bietet. Die integrierten Hardware- und Softwarekomponenten machen es zu einer vielseitigen Plattform für Wafer-Level-Tests und messtechnische Anwendungen.
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