Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #138855 zu verkaufen

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ID: 138855
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Patterned wafer inspection system, 8" Model no: 269913 Chuck: Up to 8" Robotic handler 1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan ist eine Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die Anwendern höchste Leistung bietet. KLA 7600 Surfscan ist in der Lage, automatisierte Wafertests, Fehlererkennung und Messtechnik durchzuführen. Zu den Merkmalen gehören automatisierte Wafertests, sekundäre Elektronenbildgebung, Röntgenmapping, automatisierte Fehlerklassifizierung sowie eine automatisierte Partikelgrößen- und Formanalyse. TENCOR 7600 Surfscan verfügt über ein Automatisierungssystem, das roboterbasierte Handhabung und sichtbasierte Inspektion verwendet, um Oberflächenfehler auf Siliziumscheiben zu identifizieren, zu messen und zu bewerten. Dies hilft, Betriebskosten und Zeit während der Produktion zu sparen, sowie Personalarbeit zu reduzieren. Darüber hinaus bietet das Gerät ein breites Spektrum an Testmöglichkeiten, von der Überwachung von Strukturfehlern und Variationen bis hin zu komplexeren Funktionen wie Prozessüberwachung und In-Line-Partikelanalyse. Für die Fehlererkennung verfügt PROMETRIX 7600 Surfscan über eine sekundäre Elektronenbildtechnologie (SEI), die ein hochauflösendes Bild bietet, das für den Benutzer erfasst und angezeigt wird. Darüber hinaus bietet die Maschine Röntgenmapping und Variabilitätsbewertung durch ihr Röntgenmapping-Modul. Dadurch wird sichergestellt, dass aufgenommene Bilder genau angezeigt werden. Das Tool verwendet auch die automatisierte Fehlerklassifizierung (ADC), die zur Erkennung und Klassifizierung von Fehlern am Wafer verwendet wird. Darüber hinaus ermöglicht 7600 Surfscan eine umfassende Analyse der Partikelgröße und -form, sodass Benutzer die Partikel auf einem Wafer messen und analysieren können. KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan hat auch eine Reihe von zusätzlichen Funktionen, wie eine Umweltkontrollkammer, bis zu sieben verschiedene Lasermodi, vollständig integrierte Kalibriereinrichtungen und eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI). Darüber hinaus kann das Asset in andere Teile des Halbleiterproduktionsmodells integriert werden, wie z.B. KLA 7000 Steps, das die Herstellung von Wafern unterstützt. Insgesamt ist KLA 7600 Surfscan eine leistungsfähige und zuverlässige Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es ist in der Lage, Oberflächenfehler auf Siliziumscheiben genau zu erkennen, zu messen und zu bewerten, was Zeit und Arbeit während der Produktion spart. Darüber hinaus ist es in der Lage, Röntgenmapping und erweiterte Partikelgröße und Formanalyse. All diese Eigenschaften machen TENCOR 7600 Surfscan zu einer idealen Lösung zur Überwachung von Halbleiterproduktionsprozessen.
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