Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9083818 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan
ID: 9083818
Wafergröße: 6"
Particle inspection system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Halbleiterherstellung. Das System wurde entwickelt, um eine umfassende automatisierte Fehlererkennung und Charakterisierung der Oberfläche von Halbleiterscheiben während des Prozesses der Halbleiterherstellung bereitzustellen. Die Surfscan 7600-Einheit bietet sowohl spektrale Reflektometrie als auch optische Mikroskopie, um die Oberflächentopologie und Defekte einer Vielzahl von Materialien, die bei der Herstellung von Halbleiterscheiben verwendet werden, genau zu messen. Diese Maschine ist in der Lage, die Größe, Form, Position und Orientierung von Mikrometer-Defekten und -Merkmalen zu quantifizieren. Mit den erweiterten Erkennungsfunktionen des Werkzeugs kann es Fehler von 0,2 Mikrometer Größe oder kleiner erkennen. Der Surfscan 7600 ist ein zuverlässiges, hochmodernes Asset, das mit einer intuitiven Benutzeroberfläche und mehreren erweiterten Funktionen ausgestattet ist. Das Modell verfügt über ein integriertes Windows 10-Betriebsgerät, ein 20-Zoll-HD-Touchscreen-LCD für die direkte Interaktion mit dem Benutzer, eine hochwertige optische Digitalkamera und eine kompakte Lichtquelle zur Beleuchtung und Fehlererkennung. Das System ist auch mit einem Barcode-Leser, einer motorisierten automatisierten X-Y-Theta-Stufe und einer vollautomatischen Muster-Identifikationseinheit gebaut. Der Surfscan 7600 wurde entwickelt, um eine genaue und zuverlässige Oberflächentopologie-Abbildung, Fehlererkennung und Charakterisierung bereitzustellen. Es ist eine flexible Maschine, die in der Lage ist, viele verschiedene Materialien und spezielle Prozesse zu testen. Das Werkzeug ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien wie Siliziumscheiben, Glasscheiben, Metalle, Dielektrika und andere zu testen. Das Asset verfügt über vollständige Fehlererkennungs-, Identifizierungs- und Analysefunktionen. Es ist mit einer Reihe leistungsfähiger Bildgebungs- und Analysetools ausgestattet, einschließlich anspruchsvoller Bildverarbeitungsalgorithmen und Software zur automatisierten Fehlererkennung und -klassifizierung. Der Surfscan 7600 beinhaltet eine umfassende Bibliothek von Fehlertypen, die zur effektiven Fehlererkennung und -klassifizierung verwendet werden kann. Zusammenfassend ist KLA 7600 Surfscan ein umfassendes Wafer-Test- und Metrologiemodell. Es bietet erweiterte Funktionen und Fähigkeiten zur Prüfung der Oberflächentopologie und Defekte auf einer Vielzahl von Substratmaterialien, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet werden. Es ist in der Lage, mikrometergroße Defekte zu erkennen, genaue und zuverlässige Fehlererkennung und Klassifizierung bereitzustellen.
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