Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9227522 zu verkaufen
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ID: 9227522
Weinlese: 1995
Patterned wafer surface inspection system
M/N: 249505 Analysis system
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für Anwendungen mit hohem Durchsatz und Qualitätskontrolle. Es verwendet fortschrittliche Optik-, Sensor- und Bildverarbeitungstechnologien, um die kritische Dimension (CD) und Topographie von Waferoberflächen genau zu messen und Herstellern die Erkennung von Produktionsfehlern, die Überprüfung kritischer Eigenschaften der Geräteschicht und die Messung der Überlagerungsgenauigkeit zu ermöglichen. Das System besteht aus einem motorisierten Lichtmikroskop, zwei hochauflösenden Lasern, einer Digitalkamera und einer integrierten Software-Suite. Das Mikroskop dient zur Inspektion und Abbildung von Waferoberflächen bis zu 9 Zoll Durchmesser. Die Laser messen Merkmale in mehreren Bereichen und bieten vertikale Auflösungen bis zu 0,25 Mikrometer. Die Kamera erfasst ein 12MP Farbbild, um Fehler zu überprüfen, und die Software-Suite bietet leistungsstarke Echtzeit-Analysefunktionen wie CD- und Filmmessung und Echtzeit-Bildvergleich. KLA 7600 Surfscan ist in der Lage, Filme und Geräte mit einer Auflösung von bis zu 0,25 Mikrometern zu messen, so dass Hersteller Produktionsfehler genau erkennen, optimierte Prozessabläufe entwickeln und Programme zur Optimierung von Gerätelösungen (DMO) erstellen können. Das Gerät ist auch sehr zuverlässig, emittiert minimale Hintergrundgeräusche und bietet beispiellose Genauigkeit und Wiederholbarkeit. TENCOR 7600 Surfscan ist ideal für Wafertests und messtechnische Anwendungen und liefert schnell und zuverlässig hochpräzise Ergebnisse. Seine einfach zu bedienende, integrierte Software-Suite ist für die Datenerfassung, statistische Prozesssteuerung (SPC) und erweiterte Analyse optimiert, so dass Benutzer Waferoberflächen schnell und effizient überprüfen und analysieren können. Darüber hinaus trägt die Kombination aus fortschrittlicher optischer Technologie, hochauflösenden Lasern, robuster Software und Unterstützung für mehrere Substrate dazu bei, dass Hersteller in der Lage sind, kostengünstig konsistente hochwertige Ergebnisse in ihren Wafertest- und messtechnischen Anwendungen zu erzielen.
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