Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9274943 zu verkaufen
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ID: 9274943
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1993
Particle inspection station, 8"
Patterned surface inspection system
ARGON Laser
Power supply: 208 V, 60 Hz
1993 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die die Messung und Inspektion von Wafertopographie und Morphologie mit einer automatisierten Plattform kombiniert. Es nutzt fortschrittliche Metrologie-Hardware- und Software-Innovationen, um Prozessingenieuren wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse zu liefern. Surfscan 7600 ist ein vielseitiges System, das in einer Vielzahl von Branchen verwendet wird, darunter Halbleiter, Flachbildschirme und Photovoltaik. KLA 7600 Surfscan kombiniert eine berührungslose optische Einheit und berührungslose Oberflächenmesstechnologie, um hochauflösende, wiederholbare topographische Messungen und Bilder bereitzustellen. Es verwendet hochauflösende CCD-Kameras, um bis zu 200 Bilder in horizontaler und vertikaler Richtung des Oberflächenprofils einer Probe zu erfassen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine 8-Achsen-automatische Probenstufe, um eine hohe Genauigkeit der Abtastung einer gesamten Probe zu ermöglichen. Diese Kombination aus automatisierbarem Scannen und berührungslosem optischem Profilieren ermöglicht schnelle, hochgenaue topologische Messungen über heterogene Proben ohne mechanische Benutzereingabe. Für die Analyse verfügt die 7600 über mehrere Analysepakete, einschließlich der gängigen SP3D Software für die 3D-Profilanalyse und MV3D für die Rauheitsanalyse. Mithilfe einer parallelen Architektur verarbeitet SP3D schnell Daten für Messungen wie Schritthöhen, Bildgebung in einzelnen oder mehreren Fokustiefen, Defekte, Unebenheiten, Merkmalsbereich und Abweichung. Der Surfscan 7600 unterstützt auch eine Vielzahl von branchenüblichen Messtechnik-Softwarepaketen zur statistischen Datenerfassung und -analyse. TENCOR 7600 Surfscan ist mit vielen praktischen Features ausgestattet, die seine Metrologie-Fähigkeit verbessern. Funktionen wie automatische One-Touch-Ausrichtung, automatisches Sample-Scannen und präzises X-Y-Z-Profilieren, Bettbereich, der Daten aus mehreren Beispielgrößen ermöglicht. Darüber hinaus verfügt die 7600 über ein internes Umweltkontrollwerkzeug, um die Stabilität der Probenprofilmessungen über Temperaturen und relative Luftfeuchtigkeit zu gewährleisten, sodass die Anlage genaue Messungen über verschiedene Geographien und Klimazonen hinweg durchführen kann. Schließlich verfügt die 7600 über ein softwaregesteuertes Musterbearbeitungsmodell, das sowohl die manuelle als auch die automatische Bearbeitung von Wafern ermöglicht. Insgesamt ist 7600 Surfscan eine fortschrittliche Wafertest- und Metrologie-Ausrüstung, die einzigartig entwickelt wurde, um topographische Merkmale heterogener Proben zu messen und zu überprüfen. Es bietet Prozessingenieuren zuverlässige, wiederholbare Ergebnisse mit einer Kombination von Hardware- und Software-Innovationen, die sie von ihren Wettbewerbern unterscheiden. Seine hochauflösende bildgebende Fähigkeit, umfassende Analysepakete und Temperatur/Feuchtigkeit Stabilität machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug in einer Vielzahl von Branchen.
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