Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 7600 Surfscan #9299452 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX 7600 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die über eine fortschrittliche Technologieplattform verfügt, um kritische Inspektionen, Charakterisierung und Prozesssteuerung über eine breite Palette von Halbleiter- und optoelektronischen Anwendungen zu ermöglichen. Das System besteht aus zwei Modulen, dem Modul Scanning Electron Microscope (SEM) und dem Modul Atomic Force Microscope (AFM). Das SEM-Modul bietet hochauflösende Bildgebung und automatisierte Messungen, um eine eingehende Analyse von Wafertopographie und Oberflächenfehlern zu ermöglichen. Es kann Oberflächenmängel auf Mikroniveau erkennen, sowie KE-Profile wie Schritthöhen, Kantenrauhigkeit und Rauheit der Mittellinie messen und analysieren. Das AFM-Modul arbeitet unter Umgebungs- und Vakuumbedingungen, um eine atomare Auflösung mit Auflösung auf Nanometerebene zu ermöglichen. Es kann zur Charakterisierung von Oberflächen und Nanostrukturen verwendet werden, um Prozessentwicklung, Produktionsüberwachung und Fehleranalyse zu unterstützen. KLA 7600 Surfscan wurde entwickelt, um die Wafer-Messtechnik mit seinen automatisierten Funktionen Ausrichtung, Scan, Messung und Datenanalyse zu optimieren. Das Gerät verfügt über eine schnelle, präzise und sichere Wafer-Handhabungsmaschine. Es ist mit einer hochauflösenden Farb-CCD-Kamera und einer motorisierten XY-Bühne ausgestattet, die den Wafer mit wiederholbarer Genauigkeit schnell in die gewünschten Positionen bewegen kann. Das Werkzeug ist auch mit einem automatisierten Objektivwechsler und Fokusmechanismus ausgestattet, der das Mikroskop-Objektiv auf die am besten geeignete Einstellung umstellen kann, um eine höhere analytische Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu erzielen. Darüber hinaus umfasst TENCOR 7600 Surfscan eine leistungsstarke Datenverarbeitungsressource, die lieferbare Daten mit Diagramm-, Bearbeitungs- und Berichtsfunktionen sammeln und analysieren kann. Insgesamt ist 7600 Surfscan ein leistungsstarkes Wafer-Test- und Metrologiemodell, das fortschrittliche Technologie, sichere Wafer-Handhabung und anspruchsvolle Datenverarbeitung kombiniert, um eine schnelle und genaue Fehleranalyse und Fehleranalyse zu ermöglichen. Diese Ausrüstung kann Oberflächenmängel und Nanostrukturen erkennen und charakterisieren, um eine kritische Prozesssteuerung für eine breite Palette von Halbleiter- und optoelektronischen Anwendungen zu ermöglichen.