Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #293595751 zu verkaufen
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ID: 293595751
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1997
Inspection system, 6"-8"
1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die dazu beiträgt, die Prozesssteuerung zu verbessern und Kosten bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen zu senken. Das System verwendet optische und elektrische Messtechnik, um Wafer- und Düseneigenschaften mit geräuscharm und hoher Genauigkeit und Geschwindigkeit zu messen. Das Gerät führt optische Messungen von Scanbereichen, zerstörungsfreie Messungen von Defekten und andere Prozesse mit minimaler Auswirkung auf den Prozessdurchsatz durch. Die Maschine besteht aus einer Vielzahl von Komponenten, darunter eine Testkammer, ein Messarm und ein Datenprozessor. Die Prüfkammer ist eine speziell entwickelte Umgebung, um Lärm zu reduzieren und die Messgenauigkeit zu verbessern. Die Testkammer umfasst eine Lichtquelle, eine Kamera und einen Strahlteiler. Die Lichtquelle beleuchtet den Wafer und die Gesenkkomponenten. Die Kamera erfasst Bilder des von den Komponenten reflektierten Lichts und überträgt diese an den Messarm. Die von den Beleuchtungslichtquellen erzeugten Lichtmuster werden mit vordefinierten Referenzmustern verglichen, um Unterschiede zu erkennen und zu quantifizieren. Der Messarm enthält eine Anordnung von Sensoren, die die erhaltenen Bilder messen und zur Analyse an den Datenprozessor senden. Der Datenprozessor verarbeitet die aus dem Messarm gewonnenen Informationen und generiert Ergebnisse. Die Ergebnisse, die quantitative Messungen und Fehlererkennung umfassen können, werden typischerweise in einer Datenbank für spätere Abrufe und Analysen gespeichert. Das Tool bietet auch eine Vielzahl von Funktionen zur Verbesserung der Prozesssteuerung. Das Asset unterstützt beispielsweise die Rückseitenprüfung, die die Rückseite einer Matrize auf Qualitätsprobleme analysiert. Darüber hinaus können Anwender benutzerdefinierte Fehlertypen und Datenbanken erstellen, wodurch komplexere Fehler leichter identifiziert werden können. Darüber hinaus können Benutzer fortgeschrittene Algorithmen verwenden, um die Genauigkeit der Messungen zu verbessern. Insgesamt ist die KLA AIT I ein leistungsstarkes Wafer-Prüf- und Messtechnik-Modell, das Anwendern eine zuverlässige und effiziente Methode zur Qualitätsmessung ihrer Produkte bietet. Mit seinen geräuscharmen und hochgenauen Messungen und mehreren Funktionen kann die Ausrüstung dazu beitragen, die Prozesskontrolle deutlich zu verbessern und Kosten zu senken.
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