Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9171311 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I ist eine von KLA und TENCOR geschaffene Wafertest- und Messtechnik. KLA AIT I ist ein automatisiertes Inspektions- und Testsystem (AIT) zur Ausrichtung und Messung von Waferbildern, um Wiederholbarkeit und Genauigkeit bei der Messung kleiner Strukturen und Muster auf Halbleiterscheiben zu gewährleisten. TENCOR AIT I umfasst ein Autoskop-Mikroskop und eine integrierte Bildgebungsplattform, die mit einer CCD-Kamera und einem XYZ-Scanner ausgestattet ist. Das Mikroskop bietet hochauflösende Bildgebung und eine breite Palette von Balance- und Auflösungseinstellungen, um für eine Vielzahl von Wafertypen zu optimieren. Die integrierte Bildgebungsplattform umfasst Algorithmen für Segmentierungs-, Mustererkennungs- und Mustererzeugungsprozesse, mit denen Benutzer problemlos Musterdateien erzeugen und die Eigenschaften von Wafern messen können. Das Gerät verwendet eine zweiachsige Scanmaschine, um die Scangeschwindigkeit zu steuern und eine genaue Ausrichtung des Wafers zu gewährleisten. Das zweiachsige Werkzeug kommuniziert mit dem automatisierten Mikroskop, um den automatisierten Wafer-Inspektionsprozess abzuschließen. Das Asset kann so konfiguriert werden, dass es X-Y-Koordinatenpositionen auf dem Wafer bis zur maximalen Scanlänge von 8 Zoll scannt und so große Bereiche des Wafers messen kann. AIT I verwendet optische TOK-Artefakte, um die Genauigkeit und Wiederholbarkeit der Messungen zu gewährleisten. Die präzisen optischen Artefakte sind in Größe und Form identisch und dienen der Referenzierung der Objektivlinsen des Mikroskops und der Kalibrierung des Gesichtsfeldes gegen nominale Mikroskopparameter. Die optischen Artefakte ermöglichen es dem Modell auch, eine Vielzahl von Größen an verschiedenen Stellen auf dem Wafer genau und wiederholbar zu messen, wodurch genaue und zuverlässige Wafermessungen gewährleistet sind. PROMETRIX AIT I enthält eine Bibliothek vorprogrammierter Messstrategien, mit denen die Inspektionssoftware schnell eingerichtet und gesteuert werden kann. Die Strategien decken eine breite Palette von Inspektionsarten ab, darunter kritische Abmessungen (CD), Linienbreiten oder Lupen. Darüber hinaus bietet KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I hervorragende Bildauflösung und Kontrastwerte, um wiederholbare, zuverlässige Ergebnisse für komplexe optische Messungen zu erzielen. Insgesamt ist KLA AIT I eine genaue und zuverlässige Wafer-Prüf- und Messtechnik mit integrierten Software- und Hardwarelösungen, die es Anwendern ermöglichen, genaue Messungen zu erzielen und die Ausbeute für Halbleiterscheiben zu maximieren. Mit seinem vielseitigen zweiachsigen Abtastsystem, vorprogrammierten Messstrategien und präzisen optischen Artefakten bietet TENCOR AIT I eine All-in-One-Lösung für effiziente und zuverlässige Wafertests.