Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9221583 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I ist eine von der KLA Corporation und der TENCOR Corporation entwickelte Wafer-Prüf- und Messtechnik. Dieses System ist für die Hochgeschwindigkeits- und Präzisionsanalyse von Halbleiterscheiben im Herstellungsprozess ausgelegt. Es ist eine automatisierte Wafer-Inspektions- und Messtechnik-Einheit, die Linienbreiten, Ebenheit, Overlay-Ausrichtung und Oberflächentopologie von Wafern mit überlegener Genauigkeit und Wiederholbarkeit messen kann. KLA AIT I verwendet proprietäre Technologien wie Total Measurement Software (TMS) und Applications Programming Interface (API) für genaue und wiederholbare Ergebnisse. Die Maschine enthält das Wafer Analysis Center (WAC), das die TMS- und API-Funktionen zusammen mit anderen Komponenten wie den Sensor- und Bildverarbeitungsköpfen, den Networked Data Acquisition Hubs und den Wafer Handlern integriert. Die Sensor- und Abbildungsköpfe verwenden ladungsgekoppelte Geräte (CCD) zum Scannen und Messen von Wafern mit unterschiedlichen Abtastbreiten, Abtastdichten und Messfähigkeiten. Die Networked Data Acquisition Hubs sammeln und analysieren Daten der Sensor- und Bildverarbeitungsköpfe, um eine globale Karte der Wafereigenschaften für die Qualitätskontrolle genau zu erstellen. Die Wafer Handler ermöglichen TENCOR AIT I Werkzeug zu bewegen und Wafer führen genau positioniert werden für die Kantenerkennung und Messung. Die Total Measurement Software (TMS) ist verantwortlich für die Steuerung der Sensor- und Bildverarbeitungsköpfe, die Anzeige der gesammelten Daten und das Streamen von Messergebnissen an einen Drucker oder Computer nach Bedarf. Das TMS enthält auch eine Reihe linearer und nichtlinearer Näherungen mit Fehlermetrik-Tools und Feature-Plottern zur Bestimmung der Eignung eines Wafers. Die Application Programming Interface (API) verbindet sich mit einer Vielzahl von Systemen von Drittanbietern wie CAD, Visualisierung, Datenerfassung und Wafer Fabrication. Dadurch lässt sich das TMS einfach in die bestehende Architektur eines Anwenders integrieren. Die API ermöglicht es Entwicklern auch, benutzerdefinierte Waferanalysesoftware in einer Vielzahl von Umgebungen zu erstellen und zu entwickeln. Insgesamt handelt es sich um ein hochgenaues und zuverlässiges Wafer-Test- und Metrologiemodell. Seine Wiederholbarkeit und Genauigkeit in Kombination mit seinen verschiedenen Eigenschaften und Komponenten machen PROMETRIX AIT I zu einer ausgezeichneten Wahl für die Wafer-Qualitätskontrolle.