Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX AIT I #9379558 zu verkaufen
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ID: 9379558
Wafergröße: 6"-8"
Weinlese: 1997
Patterned wafer inspection system, 6"-8"
1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX AIT I ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine maximale Genauigkeit und Geschwindigkeit bietet und den Anwendern fortschrittliche Erkennungs- und Prozesskontrolllösungen bietet. Das System ist eine integrierte optische und mechanische Einheit, die zur automatisierten Inspektion und Prüfung von Wafern bis 200 mm Durchmesser fähig ist. Das vorteilhafteste Merkmal von KLA AIT I ist die Fähigkeit, detaillierte Daten mit einer sehr hohen Genauigkeit bereitzustellen. Es verwendet eine Kombination von Beleuchtungstechniken wie Dunkelfeld, Licht mit hoher Intensität und schräg, um kritische Defekte bis zum Sub-Mikron-Niveau zu lokalisieren. Die Maschine ist vielseitig genug, um eine Vielzahl von KE-Dimensionen wie Größe, Form, Präsenz und Profil zu erkennen. Zusätzlich werden komplexe Algorithmen eingesetzt, um Fehler an den Wafern genau zu identifizieren und zu quantifizieren. TENCOR AIT I-Tool ist mit spezialisierter Software programmiert, um Anwendern automatisierte Prozesssteuerungslösungen zur Verfügung zu stellen. Dieses Softwarepaket soll Benutzern verbesserte Erkennungsfunktionen und Datenkonsistenz bieten. Es ist in der Lage, Prozessphasen zu überwachen und Fehler zu erkennen, die auf spezifische Prozessprobleme zurückzuführen sein können. Es bietet auch dynamische Steuerungsfunktionen, so dass Benutzer Einstellungen für die Prozessoptimierung anpassen können. Das Asset bietet Anwendern auch eine Vielzahl fortschrittlicher messtechnischer Funktionen. Es ist kompatibel mit einer Reihe von Wafer-Tests und Messtechnik Sonden, einschließlich Wirbelstrom, Kontakt Lithographie, Piezo-Kraft und Schallschwingung. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Merkmalstypen zu messen, von sehr kleinen nanoskaligen Funktionen bis hin zum Mikroniveau. Sie ist auch in der Lage, Trends schnell zu erkennen und bei Bedarf Korrekturmaßnahmen zu ergreifen. AIT I verwendet eine moderne grafische Benutzeroberfläche (GUI), um das Modell einfach zu bedienen und zu navigieren. Dies hilft, die Trainingszeit des Bedieners drastisch zu reduzieren und den Testdurchsatz zu erhöhen. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, schnell auf Testergebnisse zuzugreifen, Daten zu sortieren und Testeinstellungen anzupassen. Abschließend ist PROMETRIX AIT I eine ideale Wafer-Prüf- und Messtechnik für Anwender, die nach maximaler Genauigkeit und Geschwindigkeit suchen. Die Kombination aus automatisierter Inspektion, fortschrittlicher Prozesssteuerung und messtechnischen Fähigkeiten machen es zu einer guten Wahl für Wafer-Testanwendungen.
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