Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9134678 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300
ID: 9134678
Weinlese: 1994
Film thickness measurement system 1994 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das entwickelt wurde, um branchenführende Genauigkeit, Durchsatz und Flexibilität für eine fortschrittliche Prozesssteuerung in der fortschrittlichen Halbleiterherstellung zu bieten. Es unterstützt sowohl berührungslose, zerstörungsfreie Inspektion als auch zerstörerische Probentests einer breiten Palette von Wafern, von der Vorbindung bis zu fertigen Produkten. Die KLA M-Gage 300 wurde entwickelt, um sicherzustellen, dass die interessierenden Parameter in einem akzeptablen Bereich bleiben und das Potenzial für Probleme minimieren, die sich aus nicht spezifizierten Prozessen wie Oberflächenrauhigkeit, Schritthöhe und Widerstand ergeben können. Das System verfügt über mehrere Schlüsselkomponenten, darunter den Messkopf, der mit einer Vielzahl von Sensoren zur Messung verschiedener Parameter ausgestattet werden kann. Es enthält auch einen mikroprozessorgesteuerten sequentiellen Tester, mit dem komplexe Mehrfachphysik-Testprotokolle in einem einzigen Testzyklus durchgeführt werden können. Das System ist auch mit einem Bildanalysemodul und einem Wafergreifer ausgestattet, so dass es die Größe und Form eines Wafers sowie die Kontaktkraft zwischen der Sonde und der Waferoberfläche genau messen kann. TENCOR M-Gage 300 wurde entwickelt, um mit einer Vielzahl von Prozesschemikalien zu arbeiten, einschließlich Spin-, Beschichtungs- und Ätzprozessen. Es ist in der Lage, hochauflösende messtechnische Daten in nur einem Zyklus zu erzielen, ohne dass aufwendige mechanische Ausrichtungs- oder Rüstschritte erforderlich sind. PROMETRIX M-Gage 300 wurde entwickelt, um Fehler aus Spezifikationen zu erkennen und eine detaillierte Prozessanalyse bereitzustellen, was es zu einer idealen Lösung für die Designoptimierung und Prozesskontrolle macht. M-Gage 300 zeichnet sich auch durch berührungslose Wafer-Inspektion aus und bietet Submikron-Auflösung und geräuscharme Leistung. Seine erweiterten bildgebenden Fähigkeiten ermöglichen es ihm, eine Vielzahl verschiedener Defekte zu erkennen, einschließlich Partikel, Hohlräume und Rauheit der Kanten. Darüber hinaus enthält es eine Wafer-Erkennungsfunktion, die sicherstellt, dass der richtige Wafer getestet wird. KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 bietet mehrere Funktionen, die es zu einer idealen Wahl für eine fortschrittliche Prozesssteuerung machen, wie niedrige Betriebskosten und benutzerfreundliche Bedienung. Seine intuitive Software und umfassende Datenanalysefunktionen machen es einfach zu bedienen und zu verstehen, während seine Flexibilität es ermöglicht, an eine Vielzahl von sich ändernden Prozessanforderungen angepasst zu werden. All diese Eigenschaften machen KLA M-Gage 300 zu einer ausgezeichneten Wahl für moderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Anwendungen.
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