Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX M-Gage 300 #9412382 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX M-Gage 300 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für fortschrittliche Halbleiter-Prozesssteuerung und -analyse. Das System bietet eine vollständige Messtechnik von Wafern von blanken Wafern bis hin zu komplexen Gerätestrukturen und ist in der Lage, fortschrittliche Messungen wie kritische Dimension (CD), Dünnschichtdicke, elektrische Leistung und kritischere Daten für die Ausbeuten des Halbleiterprozesses durchzuführen. Die Einheit beinhaltet ein integriertes dreistufiges Vakuumübertragungsmodul zur zuverlässigen Bewegung eines einzelnen Wafers zwischen mehreren Kammern. Eine hochpräzise Bewegungsmaschine treibt den gesamten Prozess an und bietet eine breite Palette von Bewegungsbereichen wie X, Y, Winkel, Höhe und Wafergröße. KLA M-Gage 300 verwendet hochauflösende Bildgebung und automatisierte Messung, um präzise Testergebnisse mit Wiederholbarkeit und Konsistenz zu liefern. Das Tool verfügt über eine hochauflösende optische Plattform mit Licht- und Dunkelfeldoptik zur Erfassung und Analyse kritischer Bilder. Das große bildgebende Feld ermöglicht große Flächenmessungen, die für die Geräteprozesssteuerung entscheidend sind. TENCOR M-Gage 300 umfasst eine Reihe fortschrittlicher Messtechnologien wie optische Streuung, Rasterelektronenmikroskopie, 3D-Oberflächenprofil, Ellipsometrie und Interferometrie, um physikalische und elektrische Eigenschaften mehrerer Strukturen zu messen. Eine eingebettete Software verarbeitet die gesammelten Daten zur Ermittlung der physikalischen und elektrischen Leistungsmerkmale und die Ergebnisse werden in tabellarischen Formaten zur weiteren Analyse gemeldet. Das Modell ist mit Flexibilität für kundenspezifische Experimente wie automatisches Wechseln von Instrumenten, Echtzeit-Analyse früherer Daten und Integration fortschrittlicher Software, Bildverbesserung und anderer fortschrittlicher Messtechniken konzipiert. Es bietet erstklassige Datengenauigkeit und Zuverlässigkeit mit Wiederholbarkeit, um die Anforderungen führender Halbleiterhersteller zu erfüllen. Das Gerät integriert sich auch in M-Gage Suite Software für erweiterte Datenerfassung, -verarbeitung und -analyse. Die Software ermöglicht es den Betreibern, mithilfe seiner fortschrittlichen Algorithmen schnell umsetzbare Erkenntnisse aus gesammelten Daten zu erhalten. Das System verwendet auch Standardprotokolle zur Erfassung, Übertragung und Archivierung von Daten zur weiteren Analyse. M-Gage 300 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit, die den Anforderungen führender Halbleiterhersteller gerecht wird und ihnen genaue und zuverlässige Messungen der Wafer-Prozesssteuerung zur Verfügung stellt. Mit hochauflösender Bildgebung, automatisierter Messung, fortschrittlicher Messtechnik und flexibler Software erreichen Anwender sicherlich qualitativ hochwertige Experimente und Prozesskontrollen.