Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35C #9211174 zu verkaufen
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ID: 9211174
Wafergröße: 2"-8"
Weinlese: 1996
Resistivity mapping system, 2"-8"
Cassette autoloader
Wafer measures: up to 1264 Sites
Resistance: < 5 mohm/sq to > 5 Megohm/sq
Conductive layers:
Implants
Diffusions
EPI
CVD
Metals
Bulk substrates
Maps:
Contour maps
3-D Maps
Diameter scans
Die maps
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35C ist eine hochpräzise Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell für Produktionsumgebungen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, Wafer verschiedener Größen und Formen genau zu messen, um eine effiziente zerstörungsfreie Wafer-Prüfung zu ermöglichen. Das System ist in der Lage, extrem kleine Merkmalsvarianten auf Wafern zu erkennen, um qualitativ hochwertige Produkterträge zu gewährleisten. Die KLA Omnimap RS-35C Unit verwendet eine umfassende optische Messtechnik auf Basis der vertikalen Scanning-Bildgebung (VSI). Es ist mit einer hochauflösenden CCD-Kamera und fortschrittlichen Algorithmen ausgestattet, um eine präzise Abtastung und Analyse der Waferoberfläche durchzuführen. Auf diese Weise kann die Maschine Fehler wie Kratzer und Lochungen an Waferoberflächen genau erkennen. Darüber hinaus führt das Werkzeug auch erweiterte Dünnschichtdickenmessungen durch, um die Gleichmäßigkeit von Folienschichten auf Waferoberflächen zu beurteilen. Der automatisierte Betrieb des Asset und fortschrittliche Scanalgorithmen ermöglichen es, große Mengen von Wafern schnell und präzise zu verarbeiten. Es verfügt auch über automatische Ausrichtungsfunktionen für den Umgang mit dünnen und großen Wafern sowie automatische Fokussierung und Entschäumung, um Fehler durch Staubverschmutzung zu verhindern. Darüber hinaus kann das Modell auch verschiedene zerstörungsfreie Tests wie elektrische Tests, Linienbreitenmessungen, Dünnschichtabbildungen und Bildanalysen durchführen. Die Ausstattung ist in einem kompakten, benutzerfreundlichen Schrank untergebracht und mit einem 25,4 cm großen LCD-Display für einfache Überwachung und Bedienung ausgestattet. Die intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) des Systems ermöglicht eine einfache Einrichtung und Auswahl der Konfigurations- und Messparameter. Darüber hinaus ist es auch mit optionaler Embedded-PC-Funktionalität erhältlich und kann in bestehende Automatisierungsnetzwerke integriert werden. TENCOR Omnimap RS-35C Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit bietet hohe Zuverlässigkeit und präzise Wafer-Qualitätskontrolle auch in den anspruchsvollsten Produktionsumgebungen. Es ermöglicht kostengünstige und schnelle Test- und Messtechnik-Operationen, um Anwendern einen Wettbewerbsvorteil in ihrem Betrieb zu verschaffen.
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