Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35CA #9227292 zu verkaufen

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ID: 9227292
Weinlese: 2006
Resistivity mapping system, 6".
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35CA ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnikgerät. Es ist für den Einsatz auf großen Speicher- und Logikgeräten, Wafer-Level und die-Level-Geräten konzipiert. Es ist ein integriertes, hochpräzises Messsystem, das mehrere Messtypen wie optische Messtechnik, elektrische Prüfung, Hellfeld/Dunkelfeld-Bildgebung und Rasterelektronenmikroskopie kombiniert. Die RS-35CA Einheit bietet maximale Genauigkeit auf nanoskaliger Ebene und hohe Wiederholbarkeit für eine Vielzahl von Messarten, einschließlich elektrischer Daten, optischer Parameter, 2-D-Arrays und Korrelationen. Es bietet auch eine hervorragende Charakterisierung der Fehlerisolierung und Dimensionierung für alle Defekte und Hügelfehler. Die Maschine besteht aus einer Multi-Physik-Plattform, die verschiedene Scantechnologien wie optische Messtechnik, elektrische Prüfung, Schattenbildgebung und Rasterelektronenmikroskopie kombiniert, um die genauen Abmessungen und die Materialzusammensetzung einer beliebigen Probe zu messen. Das RS-35CA bietet eine 3-kanalige optische Messtechnik für seine hochpräzise Messung der Breite, Tiefe und Höhe jeder Probe. Dies wird mit einem Befehl von AC und DC elektrische Prüftechniken kombiniert, die die Erkennung und Charakterisierung von Gerätefehlern ermöglicht. Das Werkzeug unterstützt auch die Hellfeld/Dunkelfeld-Bildgebung zur Fehlerisolierung und Charakterisierung sowie das Rasterelektronenmikroskop zur Analyse der Probenstruktur. Das RS-35CA bietet zudem eine umfassende Anwendungssuite, die es für eine Vielzahl von Chip- und Wafer-Testanwendungen geeignet macht. Dazu gehören: Linienbreite, Linienkantenrauhigkeit, Bogen-/Tellermessungen, Schritthöhenanalyse, reflektierende Bildgebung, Spektroskopieanalyse und kompositorische Bildgebung. Darüber hinaus unterstützt das Asset Datenanalysen, Fehlerempfindlichkeitsanalysen und prozessorientierte Zuordnungen, die es Prozessingenieuren ermöglichen, das Verhalten ihres Prozesses zu verstehen. Insgesamt ist das KLA Omnimap RS-35CA Modell eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die mehrere Messtechniken für genaue, wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse kombiniert. Es ist in der Lage, zuverlässige Informationen über eine Vielzahl von Gerätemetriken und -parametern für große und kleine Speicher- und Logikgeräte bereitzustellen.
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