Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35CA #9243618 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35CA Wafer-Prüf- und Messtechnik ist ein zuverlässiges und leistungsstarkes Werkzeug zur Analyse von Prozessparametern von Halbleitermaterialien. Das System basiert auf einer modularen Plattform mit neu entwickelten Software-Algorithmen und Softwarearchitektur. Diese Plattform ermöglicht schnellere Datenerfassung und -analyse für schnellere Entscheidungen und Turnaround. Das Gerät kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll handhaben und hat eine Arbeitsauflösung von bis zu 6.000 x 6.000 Pixel. Die Maschine ist auch in der Lage, verschiedene Metallschichten, Oxidschichten und Polysiliziumschichten zu testen. Das Werkzeug ist mit mehreren Schlüsselkomponenten ausgestattet, wie einer Anzahl von LED-Musterfeld-externen Beleuchtungselementen, die in einer Abtastbewegung angeordnet sind, einer In-situ-Farbkamera, die Bilder in einem einzigen Schnappschuss aufnimmt, einem Hochgeschwindigkeits-Signalprozessor zur Verarbeitung digitaler Bilder und einem hochauflösenden Schrittmotor. Darüber hinaus umfasst die Anlage einen Präzisionsmanipulator und eine Sonde zum Testen von Strukturen auf den Wafern. Diese Komponenten sind in ein hochoptimiertes Closed-Loop-Modell integriert, das Strukturen auf dem Wafer genau abbilden kann. Die Geräte können nicht nur die Prozessparameter des Wafers genau charakterisieren, sondern das System kann auch Inspektionen von Substratoberflächenfehlern vornehmen. Es ist mit hochauflösenden Vision-Modulen ausgestattet, die Bilder von Defekten auf der Waferoberfläche aufnehmen. Die Einheit kann dann jeden Defekt auf der Substratoberfläche, wie Lochen, Nadelöcher, Vorsprünge und Kratzer, genau identifizieren und messen. Die Maschine ist auch in der Lage, verschiedene Arten von Testsubstraten mit unterschiedlicher Topographie zu handhaben. Beispielsweise kann das Werkzeug den Unterschied in der Oberflächentopologie erkennen und alle KEs wie Schritte, Brunnenkanten und andere Strukturen auf der Oberfläche des Substrats genau identifizieren. Darüber hinaus ist das Gut auch in der Lage, eine schnelle Messung der Schichtgleichförmigkeit auf hochstrukturierten Substraten durchzuführen. Das Modell kann die Gleichmäßigkeit von Dicke, Oberflächenrauhigkeit und Verschmutzung genau messen. Zusammenfassend ist KLA Omnimap RS-35CA Wafer-Prüf- und Messtechnik ein fortschrittliches und effizientes Werkzeug zur Messung und Inspektion von Halbleitermaterialien. Seine integrierten Komponenten, wie eine In-situ-Farbkamera, digitaler Bildprozessor, Schrittmotor und Präzisionsmanipulator und Sonde ermöglichen es dem System, Wafereigenschaften genau zu messen und zu überprüfen und Fehler zu identifizieren. Damit ist die Einheit ein unschätzbares Werkzeug für die Halbleiterindustrie.