Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35e #9188382 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-35e
ID: 9188382
Weinlese: 1991
Resistivity mapping system 1991 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-35e ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Inspektion komplexer gemusterter Siliziumscheiben. Es wurde entwickelt, um die Qualität des fertigen Wafers zu gewährleisten. Dieses System testet Wafer in einer Vielzahl von Anwendungen mit hoher Geschwindigkeit und Präzision. Die RS-35e Einheit arbeitet mit Streu- und Koordinatenmikroskopie (CMM) -Technologien. Auf diese Weise kann die Maschine die Abmessungen von Merkmalen und die Topographie auf gemusterten Wafern genau messen. Das Werkzeug ist für den Einsatz in der Halbleiterherstellung konzipiert, wobei eine manuelle Untersuchung der strukturierten Wafer unter Fertigungsdurchsatz nicht möglich ist. Das RS-35e Asset verwendet ein lineares motorgetriebenes Modell zur genauen und Hochgeschwindigkeitsprüfung von strukturierten Wafern. Dadurch kann das Gerät maximale Testgeschwindigkeiten erzielen und dennoch genaue Ergebnisse liefern. Es ist auch mit einem Strahlgenerator und Detektoren zur Durchführung von Streumessungen an den Wafern ausgestattet. Dies ermöglicht Messungen von Seitenwandwinkeln, Höhe, Breite und Fläche. Zum RS-35e System gehört auch ein automatischer Fokussiermechanismus, der den Fokus für Wafer unterschiedlicher Größe einstellen kann. Dies reduziert den Zeitaufwand für die Prüfung und sorgt für Genauigkeit für eine Vielzahl von Wafern. Das Gerät wurde entwickelt, um die Oberflächenfehler eines beliebigen gemusterten Wafers zu erkennen, um die Qualität der fertigen Wafer zu gewährleisten. Die Maschine verfügt über erweiterte Funktionen zur Prozesskontrolle und Fehlerdiagnose, mit denen potenzielle Fehler mit den gemusterten Wafern identifiziert werden können. Es verfügt über analytische Fähigkeiten, die Ungleichmäßigkeit, Defekte und Trends erkennen können, so dass eine proaktive Wartung und Lösung potenzieller Probleme möglich ist. Das RS-35e Werkzeug ist sehr zuverlässig und in der Lage, strukturierte Wafer mit hoher Präzision und Geschwindigkeit automatisiert zu testen. Diese Ressource ist ideal für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen, da sie die Qualität des fertigen Wafers gewährleistet und Zeit und Kosten im Zusammenhang mit manuellen Tests reduziert.
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