Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9182565 zu verkaufen

ID: 9182565
Resistivity measurement system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, ein Produkt der KLA Corporation. Dieses System bietet eine ganze Reihe von Funktionen, die zur Inspektion und Litho-Tune der komplexesten IC-Geräte verwendet werden. Omnimap verfügt über einen automatisierten Top-Down-Inspektionsansatz, der hochpräzise Optik, fortschrittliche Detektoren, Beleuchtungssysteme und spezialisierte Algorithmen verwendet, um auch die geringsten Funktionen auf einem Chip genau und wiederholt zu finden. Die Omnimap-Technologie basiert auf wissenschaftlich erprobten, halbleiterspezifischen Anwendungen und kann von IC-Designern in mehreren lithographischen Prozessen und Schaltungsarchitekturen eingesetzt werden. Das Gerät verfügt über zwei einzigartige Komponenten: ein 8-Zoll-automatisiertes Messtechnik-Tool auf Kartenbasis sowie eine TENCOR-Belichtungsmaschine. Die Kombination dieser beiden innovativen Technologien ermöglicht präzise und wiederholbare messtechnische Messungen und eine präzise Litho-Tuning-Steuerung. Das 8-Zoll-automatisierte Kartenwerkzeug führt eine Dual-Beam-Mikroskopie durch, um die gesamte Oberfläche eines Wafers einschließlich seiner Kanten genau zu beurteilen. Das Asset bewertet auch CD-Gleichmäßigkeit (CDU), Liner-Fehler, Widerstandsfüllung, Seitenwandwinkel, Vorhandensein von Dummy-Mustern, Scanner-Einstellungen und Belichtungsparameter. Dies ermöglicht eine detaillierte Abstimmung der Belichtungsprozesse und gewährleistet eine genaue Steuerung und Optimierung der photolithographischen Prozesse. Das Expositionsmodell PROMETRIX ermöglicht es den Geräten, Prozessparameter anzupassen und gleichzeitig Inline-Messtechnik durchzuführen, was eine Konsistenz von Wafer zu Wafer und eine verbesserte Geräteleistung ermöglicht. Das System bietet auch eine zerstörungsfreie Wafer-Messtechnik mit geringem Volumen unter Verwendung der proprietären Dehnungsmessstreifentechnologie Focal Plane Array (FPA). Darüber hinaus bietet die Laser Scanning Unit (LSS) eine Hochgeschwindigkeits-Scan-Fähigkeit über den getesteten Wafer, so dass Benutzer Echtzeit-Entscheidungen über Belichtungsparameteranpassungen treffen können. Die KLA OMNIMAP RS-55/TC bietet eine integrierte und umfassende Bewertung von Halbleitern, die weitere Fortschritte in der IC-Fertigung ermöglicht. Diese Maschine ermöglicht eine genaue, wiederholbare Messtechnik und Litho-Tuning von Wafern, um die Geräteleistung zu gewährleisten und den Herstellern die notwendigen Parameter zu bieten, um die besten ICs zu produzieren. TENCOR OMNIMAP RS-55T/C gilt dank seiner fortschrittlichen Technologien und breit gefächerten Fähigkeiten als das führende Werkzeug im Bereich der Wafertests und Messtechnik.
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