Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9194017 zu verkaufen
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ID: 9194017
Wafergröße: 8"
Four point probe resistivity mapping system, 8"
Manual wafer handling
Provides contour maps
3-D Plots
Diameter scans
Sheet resistance measurements
Ambient temperature and materials
Temperature Compensation (TC):
Temperature variations
Impact sheet
Resistance measurements: 1% / Degree
Temperature variations
Dramatic effect
Long-term repeatability
Accuracy
System-to-system matching
Power supply: 115 V, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC ist eine High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik, die zur Lösung von Adhäsions-, Oberflächen- und Ebenheitsproblemen in der Halbleiterprüfung verwendet wird. Es wird hauptsächlich bei der Herstellung von Mikrochips für verschiedene Anwendungen verwendet. Das System nutzt die zum Patent angemeldete Multi-Reflection Suppression (MRS) -Optik, um ein überlegenes Bild für kontrastärkere Proben bereitzustellen. Damit werden Materialeigenschaften wie Dicke, Breite, Tiefe und Ebenheit von Waferoberflächen gemessen. Es verfügt auch über ein dynamisches Fokuslaufwerk, das den Fokus der Bilder während des gesamten Testprozesses beibehält, und eine integrierte Diagnoseeinheit (IDS), um die bildgebenden und messtechnischen Systeme vor Messungen zu überwachen und zu kalibrieren. Weitere Merkmale von KLA OMNIMAP RS-55/TC sind eine automatisierte Wafer-Handhabungsmaschine, die Wafer zum Testen montieren, laden und entladen kann, und ein hochauflösendes 5-Megapixel- MISA™-Bildgebungswerkzeug mit Panaromie-Linse. Es verfügt auch über ein Dual-Strahl-Videometer zur schnellen Erfassung von Testbildern und eine Prozesskontrolle, um alle Prozessvariablen zu überwachen und abzustimmen. Das Modell wurde auch entwickelt, um genaue und zuverlässige Testergebnisse mit ausgezeichneter Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit mit Hilfe der Elektronenoptik zu liefern. Es verfügt über eine automatische Ausrichtungsfunktion, die es ermöglicht, Bühnenabstand, Rollen und Gieren beim Testen schnell und präzise zu kompensieren. Es ist auch mit einer Reihe von benutzerfreundlichen Funktionen entworfen, wie eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) und eine Zugriffsabdeckung, die es Technikern erleichtert, Komponenten für die Prüfung zu erreichen und anzupassen. Zusätzlich zu den oben genannten Merkmalen bietet TENCOR OMNIMAP RS-55T/C eine kostengünstige Alternative zur laserbasierten Messtechnik. Es bietet auch eine hohe Ausbeute mit einem guten Signal-Rausch-Verhältnis für schnelle und zuverlässige Ergebnisse. Das System bietet überlegene Leistung und Genauigkeit und kann den Steifigkeiten und Anforderungen der Halbleiterindustrie problemlos standhalten. Es ist auch mit Blick auf Sicherheit und Kompatibilität konzipiert und ist kompatibel mit den meisten Standard-Mikrochips, die heute verfügbar sind.
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