Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-55TC #9276304 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-55TC ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik, die eine fortschrittliche optische Detektionstechnologie verwendet, um die Qualität eines Wafers während und nach seinem Herstellungsprozess zu testen. Das System ist für die Inspektion von Wafern bis 200mm Größe und für die Messung von Merkmalen bis zu 0.25um ausgelegt. Diese Einheit verwendet chromatische konfokale Scantechnologie, um hochauflösende 3D-Karten des Wafers zu erstellen und die Höhe von Merkmalen über den Wafer genau zu messen, und optische Interferenzbilder zur schnellen Inspektion von Ebenheit und Wafer-Makrotopographie. Die Maschine verfügt außerdem über ein Messwerkzeug für die Querschnittsrauhigkeit, das ein motorisiertes XY-Subsystem und eine Laserdiodenlichtquelle verwendet, um hybride morphologische Oberflächenmessungen mit einer Auflösung von 0,5 μ m zu erreichen. Die Anlage ist so konzipiert, dass sie vollständig automatisiert und in eine Produktionsumgebung integriert ist, mit einem automatisierten Wafer-Handling-Modell und einer Vielzahl von Wafer-Interaktionsoptionen. Die Ausrüstung bietet auch Prozesskontrollfunktionen der industriellen Qualität, die die Überwachung mehrerer Prozesse und die Bereitstellung von Feedback ermöglichen, um optimale Prozessbedingungen aufrechtzuerhalten. Das System bietet Echtzeit-Wafer-Qualitätsbewertungen und kann verwendet werden, um Fehler zu identifizieren und Prozessgleichförmigkeit zu überwachen. Darüber hinaus bietet das Gerät erweiterte datengesteuerte analytische Berichtsfunktionen, um Prozesstrends zu identifizieren, die zur kontinuierlichen Verbesserung verwendet werden können. Die RS-55TC kann je nach Anwendungsfall unterschiedliche Testergebnisse liefern, da sie mit Waferinspektions- und Messtechnik-Software vorprogrammiert ist. Es kann programmiert werden, um Wafer aus verschiedenen Materialien wie Silizium, Galliumarsenid und Siliziumcarbid zu verarbeiten. Die Maschine verfügt zudem über einen Smart Binning-Algorithmus, der qualifizierte Wafer identifizieren und gute Erträge gewährleisten kann. Zusammenfassend ist KLA OMNIMAP RS-55/TC ein automatisiertes Wafer-Test- und Messtechnik-Tool, das auf die Bedürfnisse des globalen Halbleitermarktes zugeschnitten ist. Die Anlage verwendet fortschrittliche optische Erkennungstechnologie, um Funktionen bis zu 0,25 um zu messen und bietet Prozesskontrollfunktionen in industrieller Qualität, um optimale Prozessbedingungen aufrechtzuerhalten. Es ist in der Lage, verschiedene Testergebnisse für verschiedene Anwendungen und Materialien bereitzustellen und enthält einen Smart Binning-Algorithmus, um den Ertrag zu verbessern und das Risiko von Abfall in der Produktion zu verringern.