Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX Omnimap RS-75 #9162058 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX Omnimap RS-75 ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für präzise Oberflächeninspektionen und die Prozesscharakterisierung von Wafern ausgelegt ist. Es kombiniert eine fortschrittliche automatisierte optische Inspektion (AOI) mit einer ausgeklügelten integrierten Messtechnik für präzise Wafer-Pegelmessungen. Die RS-75 kann mit einer Genauigkeit von besser als einem Mikron (1 μ m) messen, wodurch hochauflösende Bildgebung und Messungen für eine Vielzahl von Wafermaterialien und Substrattypen möglich sind. Das RS-75 ist ein schnelles, großflächiges Oberflächenanalysesystem, das mehrere Messtechnologien zu einer Plattform kombiniert. Es ist mit einer fünfachsigen Waferstufe ausgestattet, die von den integrierten Steuerungen für eine Vielzahl von Anwendungen verwaltet werden kann. Die Fünf-Achsen-Bewegungs- und hochpräzise Messtechnik ermöglichen das Scannen und die Inspektion großer Bereiche von Wafern mit hoher Geschwindigkeit. Es gewährleistet auch eine schnelle und genaue Messung unregelmäßiger Merkmale, wie Kratzer, Gruben oder Flecken, mit der Integration fortschrittlicher optischer und profilometrischer Bildgebung. Für die Oberflächeninspektion setzt das RS-75 eine effiziente Lichtfeld-Bildgebungstechnologie mit ausgefeilter Optik ein. Es ist in der Lage, Bilder in verschiedenen Konfigurationen mit einer maximalen Auflösung von bis zu 5 µm zu erfassen. Darüber hinaus ermöglicht die mehrstufige Beleuchtungseinheit Transmissions-, Schräg-, Reflexions- und Streumusterprüfungen, die eine Vielzahl von Merkmalen und Defekten erkennen können. Das RS-75 ist auch eine fortschrittliche Messtechnik-Plattform mit einer Vielzahl von Werkzeugen für die Präzisionsmaßmessung. Es kommt mit einer berührungslosen 3DPro spektroskopischen Technologie, die Lichtreflexion verwendet, um Oberflächenprofile mit hoher Präzision zu messen. Die omnidirektionale und berührungslose Technologie ermöglicht auch die 3D-Rekonstruktion der Oberflächen des Wafers zur weiteren Analyse. Das RS-75 verfügt auch über eine breite Palette von Software-Tools zur Datenerfassung, -verarbeitung und -analyse. Neben dem automatischen Merkmalserkennungs- und Mustervergleich kann die Software auch automatisch Berichte für die Analyse erstellen. Insgesamt ist die KLA Omnimap RS-75 eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die für hochpräzise Oberflächenprüfungen und Prozesscharakterisierung ausgelegt ist. Es kommt mit fortschrittlichen bildgebenden und messtechnischen Methoden, zusammen mit Software-Tools für die automatisierte Erkennung und Berichterstattung von Funktionen. Es ist eine ideale Plattform für Waferhersteller für ihre Qualitätskontrolle und Prozessentwicklung.