Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9111707 zu verkaufen
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ID: 9111707
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Surface profiler, 8"
Options: SECS / GEM
Wafer shape: Semi Notch No Flat (SNNF)
Cassette port
MIRAIAL KM-803P-K Wafer cassette, 8" PP
PC
Micro head 1 LF sensor
Open handler, 8"
STAR JR-100 Graphic printer
No SMIF
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein automatisiertes, hochpräzises Messtechnik-System, das für eine Vielzahl kritischer Wafer-Prüf- und Messtechnik-Anwendungen entwickelt wurde. Das Gerät bietet ein ausgeklügeltes Design und eine fortschrittliche Softwarearchitektur, mit der Anwender eine Vielzahl von Messaufgaben präzise und schnell durchführen können. KLA P-20H nutzt eine Reihe von Direktantriebsstufen, die höchste Präzision bei Oberflächen- und Verbundmessungen liefern. Die Stufen sind mit Bleischraube und Lineargeber/Servomotoren für Hochgeschwindigkeits- und Hochauflösungsleistung ausgestattet. Die Stufen sind auch mit einem niedrigen Schwerpunkt ausgelegt, was zuverlässige Messungen ohne Drift gewährleistet. TENCOR P20H verfügt über eine leistungsstarke Bilderkennungsmaschine und eine hochmoderne optische Bildgebungsfähigkeit. Dieses komplexe integrierte Paket fortschrittlicher Technologien ermöglicht die Messung von Probenoberflächen mit höherer Genauigkeit und Zuverlässigkeit. Das Tool kann mit bis zu 6 Kameras konfiguriert werden, die überlegene Kantenerkennungsfunktionen bieten können. Die Bilderfassungs- und Analyseprozesse sind vollautomatisiert, was schnellere Probenmesszyklen und eine verbesserte Genauigkeit ermöglicht. P-20H ist für eine Vielzahl von Mustergrößen und -formen konzipiert, einschließlich solcher mit komplexen Topographien. Das Asset ermöglicht eine Reihe von Messungen, einschließlich kritischer Bemaßungen (CD), Overlays und anderer 3D-Messtechnik-Funktionen. Darüber hinaus ist das Modell auch für Wafer-zu-Wafer- und Wafer-zu-Masken-Ausrichtungsmessungen konzipiert. KLA P20H bietet ein robustes Design und eine Vielzahl fortschrittlicher Funktionen. Es bietet auch drei verschiedene Messmodi, wie statische, hohe Auflösung und niedrige Auflösung. Mit dem statischen Modus ist KLA/TENCOR/PROMETRIX P20H in der Lage, Datenproben schneller zu sammeln als andere messtechnische Lösungen. Im hochauflösenden Modus kann das Gerät Probendaten mit höherer Genauigkeit und Wiederholbarkeit sammeln. Schließlich bietet das System im Modus niedriger Auflösung ein rauscharmes Bild mit stark verbesserter Bildqualität. PROMETRIX P-20H wurde entwickelt, um in Echtzeit Feedback zu Messergebnissen sowie zu Datenarchivierungs- und Berichtsgenerierungsfunktionen zu liefern. Diese Einheit unterstützt auch eine große Auswahl an Wafer-Prüf- und Inspektionsprozessen. Die Kombination aus Genauigkeit, Zuverlässigkeit, Hochgeschwindigkeitsleistung und fortschrittlichen Funktionen machen dies zu einer idealen Lösung für präzise Wafermessungen.
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