Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9188378 zu verkaufen
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ID: 9188378
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
High resolution profiler, 8"
Wafer shape: SNNF (Semi notch no flat)
Cassette port
Wafer cassette: 8” PP (Miraial: KM-803P-K)
SMIF Interface: No
Includes:
Computer unit
Sensor (Micro head 1 LF)
Open wafer handler, 8"
Star JR-100 graphic printer
Option: SECS/GEM
1996 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell für die Inspektion von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es verfügt über eine automatisierte Metrologie-Sequenz, die umfassende 2D-Messtechnik-Funktionen für schnelle Reinraum-Testergebnisse durchführt. Das System ist mit hochgeschwindigkeitsmotorisierten Stufen, modellbasierten Algorithmen und zweidimensionaler, multisensorischer Erkennung von Merkmalsgrößen und -formen ausgestattet. KLA- P-20H können Schritthöhen, CD-Profile auf allen Substraten, Overlay, elektrische Parameter und mehr messen. Das Gerät ist mit einem optischen Mikroskop ausgestattet, das ein leuchtend weißes LED-Modul für höchste Bildqualität enthält. Ein Objektiv von 5X bis 50X ist ebenfalls verfügbar, um eine Vielzahl von Vergrößerungen zu geben und sich besser auf kleine Funktionen zu konzentrieren. TENCOR P20H verwendet außerdem eine automatische Probenahmestufe, die eine genaue und schnelle Messtechnik bei Geschwindigkeiten von bis zu 200 Wafern pro Stunde gewährleistet und somit eine hervorragende Lösung für schnelllebige Produktionslinien darstellt. Die Maschine verfügt auch über eine breite Palette von Funktionen, wie seine automatische Berichtsgenerierung, intuitive Benutzeroberfläche, ANSI-Standards-kompatible Fehlerinspektionssoftware, eine Bibliothek mit anpassbaren Parametereinstellungen und detaillierte Analyse von CD-Profilen. Darüber hinaus verfügt KLA P20H über integrierte Unterstützung für mehrere Wafer-Handling-Technologien (z.B. Quarz, Pylon, Freiluftfutter) und eine Vielzahl von visionsbasierten Messtechniken (z.B. VIS, SPL, SEM, AFM, X-Ray). Darüber hinaus ist P20H Tool vollständig mit E-AIMS-Unternehmenssystemen kompatibel und bietet eine nahtlose Integration mit hoch detaillierten, benutzerdefinierten Datenberichten. Darüber hinaus kann das Asset einfach von einem normalen PC in Betrieb genommen werden, was überflüssige Kosten im Zusammenhang mit einem Installationsprofi eliminiert. Abschließend ist P-20H ein leistungsfähiges Wafertest- und Metrologiemodell, das den Testdurchsatz und die Genauigkeit maximiert und somit eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen darstellt. Das Gerät ist mit fortschrittlicher Optik, automatisierter Berichtsgenerierung, intuitiver Benutzeroberfläche, Unterstützung für mehrere Wafer-Handhabungstechnologien und einer Vielzahl von visionsbasierten Messtechniken ausgestattet. Darüber hinaus bietet das System aufgrund seiner Kompatibilität mit E-AIMS-Unternehmenssystemen ein unvergleichliches Maß an Flexibilität und Integrationsfähigkeit.
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