Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX P-20H #9243003 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX P-20H Wafer Testing and Metrology Equipment wurde entwickelt, um kritische Abmessungen in der Halbleiterscheibenherstellung zu messen. Dieses leistungsstarke System wird für Fehlerinspektion, Waferkantensuche, Waferkartengenerierung, 2D-Overlay, Oberflächenhöhenmessungen und zusätzliche aufkommende Anwendungen verwendet. Das Gerät besteht aus einem Wafer-Handler, einer Inspektionsstufe und zwei Abbildungsoptiken. Der Handler ist in der Lage, bis zu 90 Wafer in einer einzigen 6-Zoll-Waferkassette zu verarbeiten und kann die Wafer sicher von und zur Inspektionsstation transportieren. Dies gewährleistet zuverlässige und sichere Handhabung und Transport von Wafern. Der Wafer-Handler ist so programmiert, dass er die Kassettenbeladung, den Transport, das Entladen und die Inszenierung verwaltet und Flexibilität für mehrere Konfigurationen von Batch- und Einzelwaferprozessen bietet. Die Inspektionsstufe verfügt über ein Paar ausgeklügelter Abbildungsoptiken, mit denen die Wafer zur Oberflächen- und kritischen Dimensionsanalyse inspiziert werden können. Die bildgebende Optik kann verschiedene Defekte erkennen, einschließlich Knoten, flache Flecken, Reflektivität, molekulare Orientierung, Waferdicke, Höhe und Oberflächenrauhigkeit. Die Optik hat einen hohen Dynamikbereich und ist in der Lage, Strukturen 2-4 mal kleiner als die Auflösungsleistung des Wafer-Handlers abzubilden. Die Maschine beinhaltet auch ein integriertes Fehlerbeschriftungswerkzeug, das defekte Wafer identifizieren und etikettieren kann. Durch diesen Beschriftungsprozess entfällt die manuelle Fehlerklassifizierung und damit verbundene Zeitkosten. Das Präzisions-Messtechnikwerkzeug ist in der Lage, 10 nm auf einem 300 mm Wafer zu messen, was eine Gesamtmessgenauigkeit von 2,4 μ m ergibt. KLA P-20H liefert genaue, hochauflösende Bilder der Wafer zu relativ schnellen Scanzeiten. Die Kombination aus Lenkung, Datenerfassung, Messtechnik und Fehleranalyse ermöglicht es dem Asset, Wafer schnell und präzise zu messen und zu charakterisieren. Dieses Modell eignet sich für fortschrittliche Verpackungsanwendungen wie gestoßene Wafer und Kanaldüsenrolle auf Wafern. Darüber hinaus eignet sich das Gerät auch ideal für Fehleranalysen und Stempelmessungen. Insgesamt wurde TENCOR P20H Wafer Testing and Metrology System entwickelt, um überlegene Leistung und erhebliche Kosteneinsparungen für die Halbleiterproduktion zu bieten. PROMETRIX P-20H ist mit seiner zuverlässigen Wafer-Handhabung, der hochentwickelten Optik, der einfach zu bedienenden Fehlerbeschriftungseinheit und seinem hochgenauen Messtechnik-Tool eines der vielseitigsten und fortschrittlichsten Wafer-Prüf- und Messtechnik-Systeme auf dem Markt.