Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX P22 #9188384 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9188384
Wafergröße: 8"
Automated surface profilometer, 8"
Automated wafer handler
Open loader for 8"
Computer controlled
Scan method: Moving stage, stationary stylus
Scan length: 205mm (8")
Scan speed: 1 μm/sec to 25 mm/sec (0.04 mil/sec to 1 in/sec)
Sampling rate: 50, 100, 200, 500, 1000 sample/sec nominal
Vertical ranges
Resolution:
±3.2 μm / 0.5 Å (±0.13 mil/0.002 μin)
±13 μm / 2 Å (±0.51 mil/0.008 μin)
130 μm / 10 Å (±5.1 mil/0.04 μin)
Vertical linearity: ±0.5% above 2000 Å, 10 Å below 2000 Å
Stylus control: Programmable force
MHII range: 0.05-50 mg
Resolution: 0.1 mg
Programmable descent rate
Dual view optics
Side view optics: 150-600x
Top view optics: 185-750x and 300-1200x (with user interchangeable lens)
Operations manual.
KLA/TENCOR/PROMETRIX P22 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die die Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Prüf- und Inspektionsprozessen verbessert. Dieses System bietet eine Kombination aus Sicht, Ausrichtung und Messung, die die Qualitätssicherung von Halbleiterbauelementen und Wafern erheblich verbessert. Kern des Geräts ist die Turbina Optics Platform, die Hochgeschwindigkeitsbildverarbeitung und -analyse sowohl für traditionelle Bilder als auch für dreidimensionale stereoskopische Bilder von Wafern und Testfunktionen bietet. Diese Plattform ermöglicht eine schnelle Erkennung und Analyse von Funktionen für bis zu 265 Wafer pro Stunde, mehr als das Doppelte des Industriestandards. Es unterstützt auch eine Vielzahl von Vision-Systemen, von den grundlegendsten bis zu den fortschrittlichsten. KLA P22 verfügt auch über erweiterte Wafer Defekt Inspektion Fähigkeiten. Dazu gehört eine automatisierte Defektprüfmaschine, die bis zu 5.000 potenzielle Fehler in einem einzigen Wafer erkennen und klassifizieren kann. Dies ist zusätzlich zu seiner Wafer-Messtechnik-Funktion, die es dem Werkzeug ermöglicht, Wafer, Geräteeigenschaften und jedes andere vorhandene Merkmal genau zu messen. In Kombination sorgen diese Merkmale dafür, dass jeder Wafer mit höchster Genauigkeit und Präzision getestet und überprüft wird. TENCOR P22 verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die Wafertest- und Inspektionsprozesse vereinfacht. Benutzer können aus einer Vielzahl von Test- und Messeinstellungen auswählen, um das Asset an ihre Bedürfnisse anzupassen. Darüber hinaus unterstützt das Modell erweiterte Datenanalysefunktionen - Daten können schnell ausgewertet und zur Verbesserung der Prozesskontrolle und der Produktausbeute verwendet werden. Insgesamt ist P22 eine ideale Ausrüstung für diejenigen, die die Genauigkeit und Wiederholbarkeit von Prüf- und Inspektionsprozessen verbessern möchten. Mit fortschrittlicher Sicht-, Ausrichtungs-, Mess- und Fehlererkennungsfähigkeit kann das System höchste Produktqualität und Zuverlässigkeit gewährleisten.
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