Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox 64100 #9281357 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX Quantox 64100
ID: 9281357
System.
KLA/TENCOR/PROMETRIX Quantox 64100 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für hochpräzise Messungen verschiedener Merkmale auf Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Das System ermöglicht die gleichzeitige Analyse mehrerer Ebenen und Funktionen sowie eine schnelle Durchlaufzeit und eine einfache Automatisierung für verschiedene Produktionsaufgaben. KLA Quantox 64100 wurde speziell entwickelt, um enge Prozesskontrollparameter wie Linienbreiten und -steigungen, Ätztiefen und Ablagestärken zu messen. Das Gerät verfügt über eine integrierte 3-dimensionale (3D) Geräuschreduzierungssoftware, die die manuelle Ausrichtung überflüssig macht und genaue Ergebnisse bei der Messung dichter Merkmale ermöglicht. Es ist auch mit optischer Messtechnik gebaut, um konstant genaue metrische Ergebnisse über eine breite Palette von Parametern zu gewährleisten. TENCOR Quantox 64100 ist mit einem branchenführenden Signal-Rausch-Verhältnis (SNR) ausgestattet, das genaue Messungen liefert und Fehler minimiert und gleichzeitig einen hohen Durchsatz beibehält. Die Maschine integriert eine variable numerische Apertur (NA) Objektiv, was bedeutet, dass es schnell angepasst werden kann, um kleine Merkmale zu messen, sowie Arrays mit mehreren Ebenen oder überlappende Merkmale. Weitere Merkmale sind ein rauscharmer Detektor, der maximale Genauigkeit liefert, und eine hochauflösende, kontrastreiche Bildaufnahme von Merkmalen in verschiedenen Tiefen. Darüber hinaus nutzt das Tool Innovationen wie einen verbesserten Strahlengang, um die Messgenauigkeit zu verbessern, und LED-Beleuchtung, die eine gleichmäßige Beleuchtung für genauere Messungen über die Probe bietet. PROMETRIX Quantox 64100 ist auch integriert eine dynamische Linsen-Kompensator (DLC) und hinzugefügt Linse Streupfad (LSP) Kompensationstechnologie, die lange Arbeitsstrecke bietet und abnorme Lichtpfad Phänomene reduziert. Darüber hinaus verfügt das Asset über eine EDEN-Messsoftware zur automatisierten mehrdimensionalen Merkmalserkennung, die die Messzeit deutlich reduziert. Insgesamt ist Quantox 64100 ein zuverlässiges Wafer-Test- und Metrologiemodell, das speziell für Anwendungen optimiert wurde, die eine enge Prozesskontrolle erfordern. Mit Funktionen wie fortschrittlicher Geräuschreduzierung, verbessertem Strahlengang, gleichmäßiger Beleuchtung, DLC-Technologie und mehrdimensionaler Merkmalserkennung liefert diese Ausrüstung konstant genaue, hochpräzise Ergebnisse, die den Anforderungen der heutigen Hochtechnologieindustrie entsprechen.
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