Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #168088 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 168088
Wafergröße: 8"-12"
Resistivity measurement system, 8"-12"
Single open cassette station
Hardware Configurations:
Computer:
P3 733MHz
256MB RAM
38GB Fixed hard-disk drive
17-inch color VGA monitor or flat-screen LCD
CD-ROM drive
3.5-inch diskette drive, 1.44MB capacity
Handler:
25 slots 12” wafer with 12" ASYST open cassette load port
SBC: 486E
Controller: ESC-218BT Rev. 4.0
Robot: ATM-407B-1-S-CE-S293
Finger Type: Single Fork
Alignment System: Camera
Factory Automation: E40, E94, E90, E87
Software Configurations:
OS : Windows NT 4.00.1381
RS-100 Version 2.31.04 20051031 Debug
1.02a RS-100 Resistivity Tester Firmware
Measurement Specifications:
Measurement Range: 5m Ohm/sq - 5M Ohm/sq
Absolute accuracy: ±1% of NIST certified range, based on NIST(NBS) standard wafers corrected to 23oC
Measurement Repeatability: < 0.2% (1σ), based on KLA-Tencor’s “Probe Qualification Test”, 1 inch test diameter, using the appropriate probe head.
Edge Exclusion: 1mm from edge of film, using the appropriate probe head.
Temperature Accuracy: ±0.5°C
Temperature Repeatability: ±0.2°C
Measurement Capabilities:
Routine check: 1-30 sites programmable
XY map: up to 1,200 sites programmable
Single or dual configuration capability
Analysis Capabilities:
Contour/3-D map: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Diameter scan: 49, 81, 121, 225, 361, 441, 625 sites
Probe qualification test: 20 sites, programmable radius
Trend and SQC charts
Histograms
Calibration curves for low dose monitoring
Throughput (5-site): 85WPH
Data Transfer Capabilities:
SECS-II, RS232 communication
Enhanced SECS-II for fully automated operation
Currently installed in cleanroom
2004 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein Fortschritt in der Technologie für die Halbleiterindustrie und bietet eine dynamische und zuverlässige Erfahrung, die dazu beiträgt, Zeit und Kosten im Zusammenhang mit Produktionsprozessen zu reduzieren. Das System bietet eine einzigartige Kombination aus Flexibilität, Genauigkeit und Geschwindigkeit und integriert Navigations-, Inspektions- und Messtechnikwerkzeuge in eine einzige Plattform. Die KLA- RS-100 fährt über einen Wafer mit einer integrierten Navigationseinheit, die ihren genauen Standort abbildet und die Größe, Form und Defekteigenschaften misst. Diese Navigation wird durch eine Vision-Maschine unterstützt, die die einzigartigen Seriennummern und Barcodes eines Wafers liest, die Datenverfolgungs-, Analyse- und Speicherfunktionen bietet. Das Werkzeug ist auch mit einer Multi-Sensor-Messtechnik zur präzisen Kantenerkennung, Ebenheitsmessung und kritischer Dimensionsgleichförmigkeit des Materials ausgestattet. Die von TENCOR RS100 gesammelten Daten ermöglichen es Ingenieuren, Fehler an Wafern schnell und genau zu identifizieren und zu quantifizieren. Das Gut kann eine Vielzahl von Defekten wie Kratzer, Beulen und Körner sowie Partikel und Partikel Kontaminanten Einschlüsse zu erkennen. Es kann auch Fremdstoffe wie alkalische und saure Partikel, leichte Materialien und organische Verunreinigungen nachweisen. Angesichts dieser hochempfindlichen Inspektionsfähigkeit ist RS-100 zum faktischen Modell für die Überprüfung der Sauberkeit eines Wafers geworden. Das Gerät ist hochgradig anpassbar und umfasst eine Vielzahl von Werkzeugen, wie eine Lichtquelle mit mehreren Wellenlängen und eine hochauflösende Kamera. PROMETRIX RS-100 ist mit einer Reihe von Messungen ausgestattet und kann Form, Größe und Zusammensetzung der Wafer-Merkmale messen. Ingenieure können Informationen zu einzelnen und mehreren Wafern in einem einzigen Lauf sammeln und diese Daten verwenden, um fundiertere Entscheidungen über die Optimierung von Produktionsprozessen zu treffen. KLA RS100 ist einfach zu bedienen und verfügt über eine menügesteuerte Touchscreen-Schnittstelle sowie einen Netzwerkplaner. Das hochwertige Feedback und die rückverfolgbaren Berichte machen Produktionsprozesse effizienter und ermöglichen es Ingenieuren, schnelle Entscheidungen auf der Grundlage der von jedem Wafer gesammelten Daten zu treffen. RS100 Wafer Testing and Metrology System ist eine innovative und zuverlässige Lösung für die Halbleiterindustrie. Es bietet eine ausgewogene Auswahl an detaillierten visuellen Inspektions-, Messtechnik- und automatisierten Daten-Tracing-Funktionen für eine kostengünstige Qualitätskontrolle und effiziente Produktion.
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