Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #192556 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100 ist eine professionelle Wafer-Prüf- und Messtechnik, die eine detaillierte Analyse von Halbleiterscheiben anbietet. Dieses System verbindet die Macht und Flexibilität der KLA-Spitzenoblateninspektion und Metrologietechnologien mit der in einer Prozession gehenden Hochleistungsgeschwindigkeit des TENCOR-Axioms Fortgeschrittenes Prozesssteuerungsgefolge. Diese umfassende Einheit bietet eine umfassende Charakterisierung von Wafergeometrie, On-Wafer-Defekt und automatischen messtechnischen Ergebnissen, so dass Kunden schnell auf kritische Probleme der Prozesssteuerung in der fab reagieren können. KLA RS-100 nutzt eine ausgeklügelte optische Architektur für hochauflösende Bildgebung, schnelle Datenerfassung und rauscharme Bildgebung. Es verfügt über eine hochauflösende Digitalkamera und eine proprietäre Optik mit hoher numerischer Apertur, die für eine optimierte Waferabdeckung und Leistungserkennung entwickelt wurde. Die integrierten Zoom und Focus Systeme sorgen für ein hochauflösendes, rauscharmes Bild für eine zuverlässige Datenanalyse auch in den anspruchsvollsten Prozessen. Die Maschine unterstützt auch doppelte Muster, EUV (Extreme Ultra Violet) Scanner und Ätzgatter, sowie eine Vielzahl von anderen Prozessen. Das Tool nutzt die Axiom Advanced Process Control Suite von PROMETRIX, um eine Vielzahl kritischer Defekt- und Metrologieparameter genau zu analysieren, einschließlich Pitch- und Pitch-Variation, OPC-Regimewiderstand, kritischer Dimension und Fokustiefe. Alle gemeldeten Ergebnisse werden mit Echtzeit-Prozessparametern, Serien- und Losstatistiken und der vollständigen Charakterisierung des Prozesses im Laufe der Zeit korreliert. Diese Informationen werden verwendet, um aufschlussreiche Analysen zu liefern und eine bessere Kontrolle über den Prozess zu erlangen, sodass Benutzer Prozessmängel identifizieren und die erforderlichen Anpassungen effizient und schnell vornehmen können. Neben der statistischen Standardanalyse bietet TENCOR RS100 fortschrittliche KI-basierte Strategien, die eine erweiterte Erkennung und Analyse von Prozesstrends ermöglichen und Prozessverbesserungen und Optimierungen ermöglichen. Mit diesem Asset können Anwender automatisierte Prozesskontrollprogramme einrichten und pflegen, indem sie die Daten bereitstellen, die für die schnelle Festlegung von Zielwerten und Feedback-Geräten erforderlich sind. Darüber hinaus ermöglicht dieses Modell die Erstellung visueller Berichte mit Dutzenden von Diagrammen in Echtzeit und kann direkt in mehrere Formate exportiert werden, um die Datenarchivierung und -freigabe zu vereinfachen. Die Geräte von PROMETRIX RS-100 sind auf Sauberkeit, Zuverlässigkeit und geringen Wartungsaufwand ausgelegt und verfügen über eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche für eine intuitive Bedienung. Dieses System ist besonders ideal für Kunden, die schnell auf Prozessausfälle reagieren, Prozessprobleme identifizieren und schnell mit dem Betriebsteam kommunizieren müssen. Mit KLA RS100 können Kunden sicher sein, dass ihr Prozess effizient und zuverlässig läuft.