Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #293610237 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100 ist eine automatisierte Prüf- und Messtechnik für Wafer. Es wird verwendet, um die Gleichmäßigkeit und elektrischen Eigenschaften von Halbleiterscheiben und -bauelementen zu überprüfen und zu messen. KLA RS-100 nutzt eine patentierte MMS-Plattform (Multiple Measurement Solutions), die modernste Wafertest- und Messtechnologien wie Scanning Acoustic Microscopy (SAM), optische Mikroskopie und Röntgentopographie kombiniert. TENCOR RS100 ist für die effiziente und genaue Analyse komplexer Halbleiterbauelementstrukturen und -materialien konzipiert. Es ist in ein fortschrittliches ADDR-System (Automatic Defect Detection and Review) integriert, das nicht nur die Bordanalyse beschleunigt, sondern auch in der Lage ist, Fehler im Nanometermaßstab zu erkennen und zu lokalisieren. Das Gerät ist auch mit einer fortschrittlichen D-Strahl automatisierten Mustererkennungsmaschine integriert, die eine präzise Wafer-Overlay-Messung und -Steuerung ermöglicht. TENCOR RS-100 verfügt über eine Reihe automatisierter Prüf- und Inspektionsmöglichkeiten, die Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und genaue Messung der Wafereigenschaften gewährleisten. Das Multi-Zone Tracking-Feature verfolgt automatisch Waferdaten und Defekte über mehrere Fokusebenen, während das Multi-Parameter-Messungsfeature gleichzeitig mehrere Parameter wie Oberflächenrauhigkeit, Dicke, Dotierstoffkonzentration, Elektronenmikroskopie (EMMI) - Pixelanalyse und Gleichmäßigkeit berechnet. Zum Werkzeug gehört auch eine automatisierte Driftkompensationstechnologie, die mechanische Verzerrungen überwacht und kompensiert. Der Vermögenswert wird mit einem Hochgeschwindigkeitsröntgenstrahlbildaufbereitungssubsystem ausgestattet, das zur Messoblatengleichförmigkeit und den Linienbreitenschwankungen, einem Echtzeitbildaufbereitungsmodell fähig ist, um Defekte und einen Gastgeber von automatisierten analytischen Werkzeugen schnell ausfindig zu machen, um Oblatenfunktionalität zu erhöhen und zu verbessern. Darüber hinaus verfügt KLA RS100 über eine optisch unterstützte Ausrichteinrichtung, die eine präzise CCD-Ausrichtung und optische Charakterisierung bietet. PROMETRIX RS-100 System integriert sich nahtlos in bestehende Hard- und Softwaresysteme und ist mit optionalen Software-Entwicklungstools zur Erweiterung seiner Fähigkeiten verfügbar. So gewährleistet RS100 durch die Optimierung seiner integrierten Messtechnik und Testfunktionen genaue und wiederholbare Ergebnisse für Wafer-Entwicklungsprozesse und ermöglicht es Halbleiterbauelementeherstellern, qualitativ hochwertige und zuverlässige Produkte auf den Markt zu bringen.