Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-100 #9222500 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-100 ist ein High-End-Multisensor-Wafer-Prüf- und Messtechnik-System zur Inspektion von Halbleiterbauelementstrukturen. Es ist ein integriertes, Inline-System, das Proben schnell und genau messen, inspizieren und analysieren kann. KLA RS-100 ist mit drei Hauptkomponenten ausgestattet: einem optischen Mikroskop, einem Interferometer und einem Nanoscanner. Mit dem optischen Mikroskop werden Form, Größe und Topologie einzelner Geräte auf dem Wafer gemessen. Sein Interferometer misst genau Flachheit und Gleichmäßigkeit des Wafers, während sein Nanoscanner Partikel und andere Defekte bis zur Nanometerskala erkennen kann. Diese leistungsstarke Kombination von Sensoren ermöglicht es TENCOR RS100, die Qualität der Oberflächenstruktur eines Wafers zu beurteilen und mit Standards zu vergleichen. Es untersucht auch auf Defekte wie Partikelverschmutzung, Linienbreitenvariationen, Schritthöhen, Verschmutzungen, Kontakte und Körner. RS100 bietet eine breite Palette industriell anerkannter Metrologieverfahren, darunter lasergestützte konfokale Messtechnik, Transmissionsmethode, mehrere Referenzpunkte und Sichtlinienanalyse. Die integrierte Design- und Software ermöglicht die automatische Datenerfassung und -analyse. RS-100 verfügt über eine gut beleuchtete In-situ-Inspektionsumgebung und einen hochauflösenden Flachbildschirm mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche. Für zusätzliche Funktionalität kann das System in andere KLA-Systeme integriert werden. PROMETRIX RS-100 liefert zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse bei Wafertests, Messtechnik und Fehlererkennung. Seine Integrationsfähigkeit und Benutzerfreundlichkeit machen es gut geeignet für Produktionslinien, Forschung und Entwicklung und Prozessqualifizierungsanwendungen. Es ist kompatibel mit einer Reihe von Software-Plattformen, wie TENCOR WaferMap, DBU und Microsoft Windows.