Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9156670 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35 Wafer Testing and Metrology Equipment ist für integrierte Schaltungshersteller konzipiert, die eine zuverlässige, genaue und leistungsstarke Lösung für Wafer-Tests, Inspektion und Messtechnik benötigen. Das System besteht aus mehreren modularen Komponenten - einem Wafer-Handler, einer kundenspezifischen Steuereinheit, optischen und mechanischen Messtechnikwerkzeugen und einer Vielzahl von Sensoren -, die an die Anforderungen spezifischer Gerätemessungen und Testkonfigurationen angepasst werden können. Der integrierte Wafer-Handler bietet eine präzise, wiederholbare Bewegung von bis zu 200 mm Wafern mit einer dreiachsigen Bewegungssteuerungsmaschine, die eine schnelle Positionierung und Rotation von Wafern ermöglicht. Für die Wafer-Prüfung und -Inspektion ist die KLA RS35 mit ausgeklügelten optischen, mechanischen und elektrischen Messtechnik-Systemen ausgestattet, darunter: ein Kanteninspektionswerkzeug, ein Werkzeugausbringungs- und Fehlererkennungsgerät sowie ein Werkzeug-zu-Werkzeug-Analysemodell. Darüber hinaus umfasst TENCOR RS 35 Multi-Sensor Interrogator (MSI), ein fortschrittliches Messtechnik-Tool, das bestimmte Merkmale oder Muster auf integrierten Schaltungen messen oder inspizieren kann, sowie den ASEC (Surface Topology Detector), ein Gerät zur Messung der Oberflächentopologie von Wafern. Das Gerät verfügt außerdem über ein optisches 4-Kopf-Mikroskop und einen Hochgeschwindigkeits-CCD-Detektor zur Erfassung von Bilddaten. Darüber hinaus umfasst RS 35 eine Vielzahl fortschrittlicher Prozesskontrolllösungen wie AutoScan, ein automatisiertes System zur Kanteninspektion, Fehlererkennung und Stempelmessung, AutoFocusPro, eine Autofokus-Einheit für Mikroskop- und Messtechniksysteme und AutoTrend, eine flexible Datentrends-Software. Die integrierte KLA RS-35 Software-Suite bietet eine vollständige Werkzeugsteuerung von Hardware, Software und Datenmanagement, einschließlich Wafer-Tracking, Kalibrierung und Archivierung. Insgesamt ist RS-35 Wafer Testing and Metrology Asset ein umfassendes Gerät für High-End-Wafer-Tests und -Inspektionen, das zuverlässige, umfassende Lösungen für die Produktion integrierter Schaltungen bietet. Die präzisen Werkzeuge und die intelligente Prozesssteuerung des Modells, kombiniert mit seiner einfach zu bedienenden Software-Suite, bieten eine beispiellose Leistung und Ergebnisgenauigkeit, sodass Gerätehersteller zuverlässig Chips von höchster Qualität produzieren können.