Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35 #9284480 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35
ID: 9284480
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Herstellung und Prüfung von Halbleiterscheiben. Es ist ein multifunktionales Hochleistungssystem, das zur Messung und Inspektion einer Vielzahl von Halbleitermaterialien wie Silizium, Germanium, Galliumarsenid und Indiumphosphid verwendet wird. Das Gerät verwendet eine Kombination aus fortschrittlichen optischen, elektrischen und thermischen Sondierungstechnologien, um kritische Informationen über die Oberflächenmorphologie, die elektrischen Eigenschaften und die chemische Zusammensetzung des Wafers bereitzustellen. KLA RS35 bietet ein verbessertes Maß an Genauigkeit und Präzision in der Wafer-Prüfung, so dass Benutzer quantitative und qualitative Entscheidungen über die Integrität der Oberflächenmerkmale des Wafers auf hohem Niveau treffen können. TENCOR RS 35 verfügt über hochauflösende, automatisierte Testwerkzeuge, darunter zweidimensionales optisches Sondenscannen und elektrische Tests, sowie integrierte Online-Messtechnik-Systeme für präzise In-situ-Messungen. Die zweidimensionalen optischen Sonden-Scanfunktionen der Maschine bieten Benutzern die Möglichkeit, Oberflächentopographie und die Erkennungsmerkmale wie Kratzer, Höcker und Gruben zu messen. Elektrische Tests ermöglichen es Benutzern, Widerstand, Kapazität, Induktivität und Stromaustritt für eine Vielzahl von Wafermaterialien zu messen. Darüber hinaus ermöglichen Messtechnik-Systeme eine automatisierte Messung kritischer Abmessungen, einschließlich der Dicke einzelner Schichten, tatsächlicher Schicht- und Merkmalsgrößen sowie der Tiefe von Gräben. TENCOR RS35 kann in einer Vielzahl von Modi betrieben werden, um den Anforderungen verschiedener Fertigungsprozesse und Materialien gerecht zu werden, um eine optimale Werkzeugleistung und Robustheit zu gewährleisten. Zu diesen Modi gehören manueller Betrieb, automatisierter Betrieb und der integrierte Batch-Modus für größere Produktionsläufe. Seine erweiterten Kühlfunktionen erhöhen die Prozesssicherheit und halten eine für das ausgewählte Wafermaterial geeignete Temperatur aufrecht. Darüber hinaus ermöglichen die integrierten Positioniersysteme eine einfache und präzise Ausrichtung des zu prüfenden Wafers, um die Genauigkeit zu gewährleisten. Darüber hinaus ist das Asset mit einer modularen Architektur konzipiert, die es Anwendern ermöglicht, KLA/TENCOR/PROMETRIX- RS35 so zu konfigurieren, dass sie ihren spezifischen branchenspezifischen Anforderungen, einschließlich Materialien, Prozessen und Anwendungen, entsprechen. Auf diese Weise können Kunden eine maßgeschneiderte Lösung erstellen, die auf ihre spezifischen Anforderungen zugeschnitten ist. Insgesamt bietet PROMETRIX RS35 Wafer-Prüf- und Messtechnik-Modell modernste Genauigkeit, Präzision und Zuverlässigkeit für eine Vielzahl von Halbleiter-Wafer-Herstellungs- und Testanwendungen. Seine fortschrittlichen optischen, elektrischen und thermischen Sondierungsfunktionen sowie seine integrierten Messtechnik-Systeme liefern den Kunden die Informationen, die sie benötigen, um kritische qualitative und quantitative Entscheidungen über die Oberflächenmerkmale ihres Wafers zu treffen.
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