Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #293795434 zu verkaufen
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KLA/TENCOR RS-35C Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein messtechnisches Multianwendungswerkzeug, das für den Einsatz in Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, die höchsten Anforderungen in der Wafer-Prüfung und Inspektion für Wafer und Pakete zu erfüllen. KLA RS 35C bietet eine Reihe von Modulen, die eine Vielzahl von Anwendungen im Halbleiterbereich ermöglichen, wie Dünnschichtdicke, Oberflächenrauhigkeit, Ebenheitsmessungen und Partikelverschmutzungserkennung. Dieses Messsystem mit mehreren Anwendungen verwendet fortschrittliche Optik, einschließlich eines linearen variablen Filters und laserbasierter Subsysteme, um schnelle und genaue Messungen zu liefern. Die bildgebenden Funktionen des Geräts umfassen eine Bildaufnahmemaschine mit geteiltem Feld, die die genaue Erkennung und Messung einer Vielzahl von Waferfunktionen und -mustern ermöglicht. TENCOR RS 35 C verfügt zudem über ein automatisiertes Waferausrichtwerkzeug und ein automatisches Erkennungsgerät zum automatischen Be- und Entladen von Wafern. Dieses automatisierte Wafer-Ausrichtungsmodell kann bis zu 40 Mikrometer Genauigkeit ausrichten. Eine automatisierte Prozesssteuerung ermöglicht RS-35C die automatische Integration in die Fertigungslinie, um Qualitätskontrolle und Ertragsmanagement zu gewährleisten. Das System kann mit Verarbeitungs- und Analysesoftware zur Trendsteuerung, zur Erzeugung von prozessinternen Ergebnissen, zur statistischen Prozesssteuerung und zum Data Mining integriert werden. RS 35 C bietet auch eine Reihe von Algorithmen für Echtzeit-Messtechnik-Berechnungen. Diese Algorithmen ermöglichen die simultane Messtechnik mehrerer Merkmalstypen auf komplexen Strukturen und Oberflächen. KLA RS-35C verfügt über eine robuste mechanische Konstruktion, die eine hohe Wiederholbarkeit und Genauigkeit bei bis zu 50X Vergrößerung ermöglicht. Seine Optik verfügt auch über proprietäre Beschichtungstechnologie, um höhere Reflexion und verbesserte Bildqualität zu bieten. TENCOR RS 35C kann mit anderen Metrologiewerkzeugen kombiniert werden, um ein effizientes, kostengünstiges Metrologie-Toolkit zu schaffen, das die Produktqualität in der Halbleiterindustrie verbessert. Darüber hinaus ermöglicht TENCOR RS-35 C die Ferndiagnose, den Remote-Service und anderen technischen Support, sodass Benutzer schnell den benötigten Support erhalten können.
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