Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9266468 zu verkaufen
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ID: 9266468
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Resistivity mapping system, 8"
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine automatisierte Prüfung und Analyse von Halbleiterscheiben und -geräten ermöglicht. Dieses System verwendet Laserscanning, automatische Fehlererkennung und -klassifizierung, Messungen kritischer Abmessungen (CD) und erweiterte Fehleranalysen, um Halbleiterstrukturen zu profilieren und zu charakterisieren. Die KLA RS-35C Einheit verwendet ein berührungsloses Laser-Rastermikroskop mit variablen Einfallswinkeln, um detaillierte topographische Bilder eines zu prüfenden Geräts zu erzeugen. Dieses Mikroskop ist gekoppelt mit einer mehrachsigen motorisierten Stufe für das 360-Grad-automatisierte Wafer-Scanning. Der softwarebasierte intelligente Fehlererkennungsalgorithmus der Maschine führt umfangreiche Bildanalysen durch, um Fehler zu erkennen, zu klassifizieren und zu speichern. Dieser intelligente Fehlererkennungsalgorithmus ist auch in der Lage, Prüfberichte mit detaillierten Metriken zur Fehlerverteilung und Auswertungen zu erstellen. TENCOR RS 35C verfügt außerdem über eine leistungsstarke CD-Messtechnik, die schnelle und genaue Messungen von Linie, Raum und anderen Miniaturmerkmalen eines Geräts umfasst. Dieses Werkzeug verwertet ein optisches Videomikroskop und einen Hochgeschwindigkeitsvideobildverarbeitungsvermögenswert, um CD-Eigenschaften schnell zu messen und zu analysieren. Nach CD-Messungen bietet die Software des Modells eine umfassende statistische Analyse der CD-Messungen zur Überwachung der Ertragsleistung und der Trends. Neben der CD-Messtechnik ist RS-35C mit fortschrittlicher Prozesssteuerung und fehlerhaften Geräteanalysetools ausgestattet. Es ist mit einem Fehleranalysator mit verbesserter Rotlicht-Bildgebung und hardwarebeschleunigter Bildverarbeitung ausgestattet, um fehlerhafte Geräte zu identifizieren und zu analysieren. Die Analyseberichte enthalten detaillierte Fehlermessgrößen für die Prozesssteuerung sowie Gerätestufenanalysen für die fehlerhafte Geräteanalyse. Insgesamt ist RS 35C eine zuverlässige und effiziente Wafer-Prüf- und Messtechnik, die berührungsloses Laserscannen, automatisierte Fehlererkennung, CD-Messtechnik, Prozesssteuerung und fehlerhafte Geräteanalyse in einer Plattform kombiniert. Dieses System ermöglicht eine schnelle und gründliche Inspektion und Analyse von Halbleiterbauelementen und Wafern und trägt zur zuverlässigen Leistung empfindlicher Halbleiterbauelemente bei.
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