Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9276502 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C ist eine Hochleistungs-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die die strengsten Anforderungen an Genauigkeit und Wiederholbarkeit erfüllt. Es besteht aus einer Reihe von Komponenten, die eine automatisierte, beschleunigte und äußerst genaue Messung einer Vielzahl von Eigenschaften im Zusammenhang mit Halbleitermaterialien ermöglichen. Das erste Element des Systems ist sein optischer Zonensensor, der die Grundlage für genaue Inspektionen der Strukturen und Merkmale einzelner Wafer bildet. Es ist eine Scanner-Einheit, die eine Reihe von speziellen Optik, Elektronik und Software, die in der Lage ist, detaillierte Messungen an kleinen Abschnitten des Wafers, auch bis zum Nanometermaßstab. Mit der Fähigkeit, eine breite Palette von Parametern in den kleinsten Formelementgrößen zu messen, kann diese Maschine mit mehreren Geschwindigkeiten und Auflösungen scannen, um Wafereigenschaften wie Breite und Tiefe schnell und genau zu messen. Das optische Retikel des Werkzeugs ermöglicht die vollständige dreidimensionale Analyse von Wafermustern. Diese Ressource ist äußerst präzise, mit der Fähigkeit, eine Vielzahl von Mustern auf ein Nanometer-Auflösungsniveau zu analysieren. Das Optical Reticle verwendet auch spezielle Optik und Software, die eine überaus genaue Bestimmung der Partikelgröße auf der Waferoberfläche ermöglicht. Das Modell enthält auch eine MicroStepper-Ausrüstung, die die multidirektionale Messung von mikrometergroßen Designmerkmalen auf der Waferoberfläche ermöglicht, auch bei Anwesenheit von Objekten wie Lötstößen und Schmutz. Mit der Fähigkeit, aus zwei oder mehr Richtungen zu messen, ist dieses System in der Lage, bis zum Nanometermaßstab mit einer hohen Präzision zu messen. Zur KLA RS-35C-Einheit gehört auch die AutoAlign-Maschine, ein ausgeklügelter Algorithmus, der die Optik des Scanners und des optischen Retikels schnell und präzise auf jedes Muster auf der Waferoberfläche ausrichten soll. Dadurch wird sichergestellt, dass jede Messung des Werkzeugs präzise und fehlerfrei erfolgt. Schließlich enthält die Station ein Vakuum-Chuck-Asset, das sicherstellt, dass der Wafer während der Messung perfekt parallel und pegelmäßig ist. Dies ist äußerst wichtig, da schon die geringste Abweichung der Position des Wafers zu einer Ungenauigkeit der Ergebnisse führen kann. Insgesamt bietet TENCOR RS 35C eine Lösung für hochpräzise Wafertests und Messtechnik. Mit seinen Komponenten wie Optical Zone Sensor, Optical Reticle, MicroStepper, AutoAlign und Vacuum Chuck bietet dieses Modell eine äußerst genaue und zuverlässige Analyse für alle getesteten Wafer.