Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9298820 zu verkaufen

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ID: 9298820
Wafergröße: 4"-8"
Resistivity mapping system, 4"-8" 4-Point Prober with printer 3D Mapping and contour Trend charts OmniMap collects Analyzes sheet Conductive layers: Conductive layers: Implants, diffusion, EPI, CVD, metals and bulk substrates Measurement: 5m ohms/sq to 5m ohms/sq on 2" to 8" Measures up to 1264 sites per wafer using standard or user-defined patterns Sheet resistance: Accurate Repeatable.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C Wafer-Prüf- und Messtechnik ist ein automatisiertes Gerät, das präzise, wiederholbare und genaue Charakterisierungen und Analysen verschiedener Halbleiter-Wafer-Proben liefert. Es verfügt über drei Funktionen: Wafertests, Messtechnik und Gleichmäßigkeitsmessungen, die alle in einer einzigen Plattform durchgeführt werden. Die KLA RS-35C Wafer-Prüfung umfasst die Überwachung der elektrischen Eigenschaften eines Objekts wie DC, Puls, Ansprechzeit, Dunkelstrom und Oberflächenrauschen. Dies geschieht durch Verwendung der speziellen Sondenkarte des Systems zusammen mit der Hilfsschaltung der Autostation 8, die eine Leistungs- und Signalkonditionierung für den Test bereitstellt. Die Probenkarte ist in der Lage, Testfrequenzen von 30 kHz bis 20 MHz mit einer Auflösung von bis zu 1Ω durchzuführen. Die Metrologieeinheit TENCOR RS 35C misst die strukturelle Integrität und den Defekt einer Probe. Das Rasterelektronenmikroskop (SEM) ermöglicht die Bildaufnahme bei hoher Auflösung und Vergrößerung mit automatisierten Funktionen zur Erkennung und Analyse. Die Maschine ist mit einem variablen Druck SEM ausgestattet, der sowohl leichte als auch schwere Ablagewafer messen kann. Es ist zusätzlich in der Lage, eine Vielzahl von ektopattern Messungen durchzuführen, wie Neigung, Profil und Nuttiefe. Schließlich ermöglicht das Einheitlichkeitsmesswerkzeug KLA RS 35C eine schnelle Messung der Geräteparameter einer Probe in einem bestimmten Bereich der Vorrichtung. Dies wird durch die Verwendung eines erweiterten RGB-Mustererkennungsgerätes erreicht, das Funktionen wie Verbindungsleckage, Verbindungsdurchbruch, Schwellenspannung und Schleifenstrom isolieren kann. Insgesamt bietet PROMETRIX RS-35C Wafertest- und Metrologiemodell ein zuverlässiges Mittel zur Charakterisierung und Analyse von Halbleiterscheiben. Es vereint drei verschiedene Prozesse zu einem kompakten Gerät und ist damit eine ideale Wahl für verschiedenste Anwendungen. Es bietet eine effiziente Möglichkeit, verschiedene Eigenschaften eines Exemplars zu messen, was es zu einem wichtigen Werkzeug für Industrielabore und Forschungseinrichtungen macht.
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