Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C #9354234 zu verkaufen

KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-35C
ID: 9354234
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-35C ist eine kritische Prüf- und Messtechnik für Halbleiterscheiben. Dieses hochpräzise System ermöglicht es Benutzern, Wafer zu untersuchen und zu analysieren, bei denen es sich um dünne Scheiben aus Halbleitermaterialien handelt, die als Substrat bei der Herstellung integrierter Schaltungen verwendet werden. KLA RS-35C verfügt über eine Reihe von Hauptmerkmalen, bietet die höchste Ebene der Wafer-Mapping, erkennt winzige Muster bis 30 nm in der Größe. Darüber hinaus beinhaltet die Einheit eine bildbasierte Klassifizierung, die für überlegene Fehlererkennungsfunktionen sorgt. Die hohe Präzision von TENCOR RS 35C macht es äußerst nützlich für viele Anwendungen wie Messtechnik, Fehlerüberprüfung, Wafersortierung, Fehlerisolierung und Fehleranalyse. Die bildgebenden Funktionen der Maschine ermöglichen es Benutzern, einzelne Wafer-Merkmale genau abzubilden und die Merkmalsgrößen zu messen, was eine detaillierte Inspektion und Analyse der Wafer ermöglicht. Dies trägt dazu bei, dass Bewegungen, Defekte und Kontaminationen identifiziert werden, bevor Sie sich zu einem Produktionsablauf verpflichten. TENCOR RS-35C misst eine Vielzahl von Funktionen, einschließlich Wafer-Oberflächentopographie, zusammen mit Kombinationen aus Höhe, CD/Breite/Raum und Kantenparametern. Das Tool bietet auch die Möglichkeit, Rauheit zu messen, einschließlich Mittelwert, Spitzenhöhe, Höhen- zu Talabstand und Flächenanalyse. RS 35C nutzt ein automatisiertes Wafer Handling-Asset, das die erfolgreiche Handhabung von Wafern durch einen ganzen Prozess ermöglicht. Für die anschließende Messung werden waferspezifische Informationen gesammelt, die es dem Modell ermöglichen, eingehende Wafer schnell zu identifizieren und zu inspizieren. Um die Effizienz weiter zu verbessern, kann die Anlage für mehrere Wafer und Prozessschritte konfiguriert werden. Das System wird von einer leistungsstarken offenen Plattform für die Datenerfassung und -analyse angetrieben. Die Daten werden mithilfe mehrerer technischer Messsysteme gesammelt und bieten Benutzern Echtzeitdaten. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS 35C verwendet auch eine vielseitige SWIR (kurzwellige Infrarot) Bildgebungseinheit, die eine schnelle Fehleranalyse auf der Waferoberfläche ermöglicht. So ist PROMETRIX RS 35C eine leistungsstarke und komplexe Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine. Mit mehreren Messsystemen, einer leistungsstarken offenen Plattform und einem automatisierten Wafer-Handling-Tool bietet RS-35C beispiellose Wafer-Mapping-Funktionen, Fehlererkennung und Messtechnik. Die Fähigkeiten von KLA RS 35C machen es zu einem äußerst wertvollen Werkzeug für die Herstellung von Wafern, mit seiner Präzision auf Wafer-Eigenschaften und der Analyse von Fehlern, die höchste Produktionserträge und Kosteneinsparungen ermöglichen.
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