Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-50 #9298896 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für Produktentwicklung, Prozessüberwachung, Fehleranalyse und Ertragsverbesserung entwickelt wurde. Das System misst die topographischen Merkmale und elektrischen Eigenschaften von Halbleiterscheiben mit hoher Geschwindigkeit und Präzision. Die Einheit kombiniert automatisierte optische und elektrische Messtechnik zu einer einzigen Plattform. Seine optischen messtechnischen Fähigkeiten nutzen die automatisierte 3D-berührungslose interferometrische Mikroskopie (3D NCI) für schnelle, fehlerfreie, zerstörungsfreie Oberflächentopographiemessungen. Die zerstörungsfreie elektrische Messtechnik der Maschine umfasst die Hochgeschwindigkeitsmessung von elektrischen Feldern, Widerstand, Kapazität und Stromleckage. KLA RS-50 ist für die Messung einer Vielzahl von Halbleiter- und dielektrischen Technologien optimiert, darunter Silizium-on-Isolator (SOI), Strained Silicon, MEMS und High-K Dielektrika. Das Werkzeug misst Geräte von 150mm bis 700mm Wafer und verfügt über einen Tisch, in dem das Substrat platziert wird, was eine wiederholbare Einrichtung und verbesserte Genauigkeit ermöglicht. TENCOR RS-50 verfügt über eine hochmoderne Bilderfassung, die schnelles Scannen und automatisches Nähen von Waferkarten ermöglicht. Es kann Vollwafer-Bilder in 1-2 Minuten erfassen und verfügt über die Fähigkeit zur maskenlosen und automatisierten Fehlerüberprüfung, mit einer Auflösung, die bis zu 0,75 μ m einstellbar ist. Die 3D-NCI-Technologie des Modells bietet eine hochauflösende Abbildung von Funktionen mit hohem Seitenverhältnis wie Isolationsgräben, Kontaktöffnungen und Polysiliziumgräben. RS-50 bietet messtechnisches Feedback für die Prozesssteuerung, sodass Prozessingenieure Verbesserungen am aktuellen Prozess vornehmen oder neue Prozessrezepte optimieren können. Die flexible Architektur des Geräts ermöglicht es auch, sich leicht an wechselnde Technologien und Anwendungen anzupassen. PROMETRIX RS-50 bietet Anwendern umfassende Möglichkeiten der elektrischen Messtechnik mit fortschrittlichen Techniken wie EBBED-Bogenwiderstandsmessungen, Modulationsspektroskopie und 4-Punkt-Bogenwiderstandsmessungen. Es kann Kontaktwiderstände, MOS-Kondensatoren und andere elektrische Parameter messen sowie kleine Geometrien bis 0,5 μ m messen. Insgesamt ist KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50 von UCK ein fortschrittliches Wafertest- und Messsystem, das schnelle und zuverlässige Messungen für Produktentwicklung, Prozessüberwachung, Fehleranalyse und Ertragsverbesserung bietet. Dank der automatisierten optischen und elektrischen Messtechnik können Anwender Oberflächentopographie visualisieren, elektrische Eigenschaften analysieren und Änderungen vornehmen, um die Geräteleistung und -qualität zu verbessern.