Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-50e #9022721 zu verkaufen
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ID: 9022721
Wafergröße: 2"-8"
4-Point probes, 2"-8"
Diameter platen: 8.5 Inch
Measurement range: 5 mohm / sq
Typical measurement time: 3.5-4.5 sec. per test site
3D Mapping
Minimum step size:
Radial: 0.0635 mm
Angular: 0.15°
Integrated connector
Measurement repeatability: <0.2% (1 Sigma)
Power requirements:
110 / 220V
<1 amp
50 / 60Hz
Pressure: 50p.s.i. (350kPa) : 40 - 60 psi
Vacuum: 300 mm Hg
Currently installed and stored in cleanroom.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50e ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es ist für Front-End-Halbleiterprozesssteuerung und für führende Bauelementleistungsoptimierung konzipiert. Das System bietet dreidimensionale Abbildungs- und Messfähigkeiten auf Waferebene sowohl für planare als auch nicht-planare Flächen, wie z. B. Beulen und Gräben. KLA RS-50e Einheit bietet eine breite Palette von messtechnischen Funktionen, einschließlich der Messung der kritischen Merkmalsgröße, Overlay-Registrierung, Kantenerkennung und feine Linien. Es ist auch in der Lage, Geräteergebnisstatistiken zu messen sowie Geräte- und Prozessanalysen bereitzustellen. Die Maschine ist auch in der Lage, eine fehlerhafte Werkzeuganalyse durchzuführen. TENCOR RS-50e Werkzeug verfügt über ein Fernmikroskop, das es geeignet macht, nicht planare Oberflächen zu messen und gleichzeitig hochauflösende Bilder bereitzustellen. Das Asset ist mit einer proprietären Beleuchtungs- und Bildverstärkungstechnologie (I3) ausgestattet, die einen verbesserten Kontrast bei der Messung kleinerer Funktionen ermöglicht. Das Modell ist in der Lage tiefe Gräben und tiefe V-Nuten zu messen. Das Gerät kann Tiefen bis zu 8 Mikrometer tief scannen. PROMETRIX RS-50e verfügt zudem über eine komplette Palette automatisierter Wafer-Inspektionswerkzeuge sowie manuelle Operationen wie Näh- und Etikettierungswerkzeuge. Auf diese Weise kann der Benutzer eine Vielzahl von Wafer-Analyseaufgaben ausführen. Die automatisierten Wafer-Prüfwerkzeuge umfassen Fehlerklassifizierung, Mustererkennung, Probenerkennung und Kantenerkennung. RS-50e verfügt auch über erweiterte Systemfunktionen für die Datenanalyse, wie statistische Echtzeitanalyse, virtuelle Messtechnik, Datensatzorganisation und -visualisierung, automatisierte Testroutinendesign und automatisierte Scanplanung. Zusätzlich ist das Gerät mit einem Yield Accelerator Package (YAP) ausgestattet, das den Einsatz fortschrittlicher Messtechnik und Wafer-Verifikationstools mit der Software Yieldstar kombiniert, um eine schnelle und genaue Gerätecharakterisierung zu ermöglichen. KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-50e Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine bietet eine Reihe von Funktionen, von automatisierten Wafer-Inspektion zu erweiterten Datenanalyse-Funktionen, die es dem Benutzer ermöglichen, zu überwachen und zu optimieren, sowohl Geräteleistung und Prozesssteuerung. Es ist ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug, das in der Lage ist, umfassende Messungen kritischer Merkmalsgröße, Overlay-Registrierung und feine Linien bereitzustellen. Die komplette Suite an fortschrittlichen Tools und Funktionen ermöglicht es Benutzern, den Geräteertrag und die Leistung zu maximieren.
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