Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #293651524 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die hochauflösende Messungen in einer Vielzahl von Halbleitermaterialien ermöglicht. Das System kann zur Erkennung und Analyse von Defekten auf Waferoberflächen sowie zur Partikelgrößen- und Verschmutzungsmessung eingesetzt werden. Die KLA- RS-55TC ist auf einer vierachsigen Querbühne aufgebaut, wobei die Primärachsen auf der linken, rechten und mittleren Seite liegen. Dies ermöglicht eine Vielzahl von Probenpositionen und eine relative Positionierung, so dass eine Vielzahl von Messungen gleichzeitig in einem einzigen Wafer durchgeführt werden kann. Es ist auch mit einer zweistufigen hochpräzisen XY-Translationsstufe ausgestattet, die in der Lage ist, die Sonde/Probe innerhalb von 10 μ m genau zu positionieren. Das Gerät ist auch mit hochauflösenden optischen und Videomikroskopen, Laser-Spottern und einer Out-of-Focus Detection (OOD) -Maschine ausgestattet. Die integrierten Mikroskope bieten ein vollständiges Bildfeld sowie Vergrößerungen bis zu 45x, was eine klare und detaillierte Bilderfassung für die Fehleranalyse ermöglicht. Der Laser-Spotter kann die genaue Position des Defekts auf der Probe bestimmen, während das ODD-Tool in der Lage ist, die tatsächliche Dimension des Defekts schnell zu validieren. Angetrieben wird das Asset durch leistungsstarke Messtechnik-Tools, die speziell für Wafer-Level-Analysen entwickelt wurden. Die Breitfeld-Abtastoptik des Modells wird von Hochgeschwindigkeits-Datenerfassungs- und Analysesoftware begleitet, um eine schnelle und genaue Messung von Oberflächenmerkmalen auf Waferebene wie Kristallgitterstruktur, Oberflächentopographie, Dünnschichten und Defekten zu ermöglichen. Die Datenanalysepakete ermöglichen auch die Erzeugung parametrischer Bilder und 3D-Oberflächenrauhigkeitsprofile und liefern genaue, hochauflösende Daten unterschiedlichster Oberflächenmuster und Eigenschaften auf Halbleiterscheiben. TENCOR RS55/TC ist eine sehr zuverlässige und flexible Ausrüstung, die sowohl hohen Durchsatz als auch hohe Genauigkeit bietet. Es ist ideal für fortgeschrittene Anwendungen, wie Fehlerinspektion und Prozesskontrolle, sowie für die Prozessentwicklung und Produktqualifizierung von Halbleiterscheiben. Das System entspricht auch Industriestandards wie SEMI S2-97 (erfordert zwei unabhängige optische Sensoren), SEMI S8-99 und SEMI S14-96.