Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #293742667 zu verkaufen

ID: 293742667
Wafergröße: 8"
Four point probe resistivity mapping system, 8" Temperature compensation Wafer handling Contour mapping Diameter scan 3-D Plot Manual included Power supply: 115 V, 50/60 Hz.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnikgerät. Es wurde entwickelt, um Wafer aller Größen und Materialien von 6 "bis 300 mm zu überprüfen und zu analysieren. Das System kann Defekte von Mikrodendriten bis hin zu Intraschichtfehlern mit hoher Präzision und Genauigkeit identifizieren. KLA RS-55TC verwendet Standard- und fortgeschrittene Bildaufnahmetechniken wie Rasterelektronenmikroskopie (SEM), Optische Mikroskopie (OM) und Reflexionslichtmikroskopie (RLM), um eine Vielzahl von messtechnischen und bildgebenden Messungen durchzuführen. Das Gerät verfügt über eine automatisierte Waferausrichtung und Vorausrichtung, die sich ideal für hohe Durchsätze und große Wafertests eignet. Die Maschine ist mit einem proprietären Fehlererkennungsalgorithmus sowie einem chemisch-mechanischen Polierwerkzeug (CMP) ausgestattet. Der Fehlererkennungsalgorithmus ist darauf ausgelegt, Fehler in Halbleiterscheiben mit hoher Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit zu erkennen und zu identifizieren. Die CMP-Analyse ermöglicht eine ausgeklügelte Oberflächenprofilierung von Waferoberflächen, die eine kontinuierliche Überprüfung des chemischen Prozesses im Laufe der Zeit ermöglicht. TENCOR RS55/TC Wafer-Test- und Messtechnik-Modell umfasst eine breite Palette von messtechnischen Inspektionswerkzeugen, Software und Visualisierungsfunktionen. Das Gerät ermöglicht es Anwendern, eine Reihe von Wafertypen wie SOI, SiN, SiON, Photoresist und Metall schnell zu überprüfen. Die fortschrittliche visuelle Inspektions- und Analysesoftware bietet Anwendern präzise Informationen zu Defekten, Oberflächen oder Materialeigenschaften. Das System umfasst auch verschiedene zuverlässige Produktionskapazitäten wie Prozessüberwachung und -kontrolle, hohe Geschwindigkeit der Probenrate und Wafer-Exploration, Fehlerklassifizierung und -extraktion, Fehlerdichtesysteme, Overlay- und Wafer-Alignment, statistische Datenüberprüfungsfunktionen, Multi-Site-Mapping und Fehleranalyse. Mit all diesen Funktionen kombiniert, TENCOR RS-55/TC ist in der Lage, hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit für eine Vielzahl von Wafer-Tests und messtechnischen Aufgaben bieten.
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