Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #9077700 zu verkaufen
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ID: 9077700
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Resistivity Mapping System, 8"
Measurement Specifications:
Measurement range: <3m/sq to >5M/sq
Absolute accuracy: based on NIST (NBS) standard
Measurement repeatability
Edge exclusion: 3mm 25mil probe head/ 4mm with 40mil probe head / 5mm with 62.5mil probe head
Temperature
1999 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC ist eine anspruchsvolle Wafer-Prüf- und Messtechnik, die auf die Halbleiterindustrie zugeschnitten ist. Es wird verwendet, um Halbleiterscheiben auf Geräteebene schnell und genau zu überprüfen und zu messen. Dieses System hat die Fähigkeit, eine breite Palette von Waferattributen zu analysieren, einschließlich der Formgröße, der Gesenksteigung, der aktiven Fläche, der Fehlerdichte, des Geräteprofils, der Linienbreiten und der Einheitlichkeit der Merkmalsgröße. KLA RS-55TC verfügt über eine Präzisionsrobotik-Stufe und fortschrittliche Sensoren, die Hochgeschwindigkeitsmessungen ermöglichen. Es kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll bei einem Durchsatz von mehr als 1.500 wpm verarbeiten. Die Maschine ist mit einem automatisierten Wafer-Mapper und einer Vielzahl von Mess- oder Inspektionswerkzeugen ausgestattet, darunter CCD-TV-Kameras, kapazitive Sonden, Rasterelektronenmikroskope und Interferometer, die alle in eine einzige modulare Plattform integriert sind. TENCOR- RS55/TC-Tool bietet eine Vielzahl von messtechnischen Fähigkeiten, einschließlich Messungen des Stempels, der Stempelmessung oder des Stempelvergleichs; Fehlererkennung und -klassifizierung; Geräteprofilierung; Querschnittsanalyse; 3D-Bildanalyse; und bildbasierte Fehleranalyse. Es kann auch eine breite Palette von Inline-Prozesssteuerungsfunktionen ausführen, einschließlich Prozessüberwachung, Echtzeit-Fehlererkennung und Ertragsüberwachung. PROMETRIX RS-55/TC verfügt über einen hochmodernen Controller, der die Leistung und Genauigkeit deutlich verbessert. Der Controller ist hochgenau und verfügt über einen modularen Aufbau, der eine einfache Erweiterung der Asset-Funktionen ermöglicht. Es ist auch mit einem ausgeklügelten Datenerfassungs- und -speichermodell ausgestattet, das umfassende Überprüfungs-, Data Mining- und Reporting-Funktionen bietet. PROMETRIX RS 55/TC ist eine leistungsstarke, vielseitige und zuverlässige Wafer-Test- und Messtechnik-Lösung, die das Beste in automatisierter Prüftechnik und Präzisionsmesswerkzeugen kombiniert. Es garantiert zuverlässige, wiederholbare und konsistente Tests und Ergebnisse und trägt zur Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente bei.
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