Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX RS-55/TC #9238630 zu verkaufen
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KLA/TENCOR/PROMETRIX RS-55/TC ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik der nächsten Generation, die für Hochdurchsatz-Produktionstests und Inline-Messanwendungen entwickelt wurde. Dieses System bietet erweiterte Diagnosefunktionen in einem kostengünstigen Paket, so dass die Hersteller von erhöhten Erträgen und einer besseren Fehlerkontrolle profitieren können. Der optische Messtechnikkopf der KLA RS-55TC unit bietet Oberflächen- und Dünnschichtmessungen von Teststrukturen auf Waferoberflächen und Substraten. Es unterstützt eine breite Palette von Messtechniken, einschließlich Top-down und Querschnitt Fourier Transform Infrarot (FTIR) Spektroskopie, Vier-Punkt-Sonde, Interferometrie, Dunkelfeld-Bildgebung, Stylus und Sonde-basierte Techniken, und erweiterte Einzelpartikel optische Zellmessungen. Eine Auswahl kontaktloser spektroskopischer Lösungen ist ebenfalls verfügbar, darunter polarisiertes Lichtmikroskop (PLM), fokussiertes Ionenstrahl-Rasterelektronenmikroskop (FIB-SEM) und Atomkraftmikroskopie (AFM). Diese Techniken erlauben eine detaillierte Überprüfung verschiedener Materialeigenschaften wie z.B. Oberflächenrauhigkeit, Kristallorientierung, Korngröße, Zusammensetzung und thermische Stabilität. Die Maschine ist hochautomatisiert und ermöglicht dem Anwender die schnelle und genaue Messung vieler Wafer in einem Schuss. Das Werkzeug ist mit einer Reihe von Metrologiemodulen ausgestattet, wodurch es in der Lage ist, simultane Messungen durchzuführen, wodurch die Gesamtprüfzeit signifikant reduziert wird, ohne die Genauigkeit zu beeinträchtigen. Darüber hinaus verfügt TENCOR RS55/TC asset über leistungsstarke Nachbearbeitungsfunktionen, mit denen der Benutzer die eingehenden Daten schnell analysieren und detaillierte Analyseberichte erstellen kann. Das Modell soll auch nahtlos mit anderen Systemen interagieren und die Integration von Testergebnissen aus mehreren Testquellen erleichtern. Darüber hinaus kann es programmiert werden, bestimmte automatische Testpläne durchzuführen und die Fernplanung von Testverfahren zu ermöglichen. KLA RS55/TC ist eine ideale Wahl, um die meisten Anforderungen an Wafer-Tests und Messtechnik kostengünstig zu erfüllen. Mit seiner außergewöhnlichen Leistung, seinem breiten Spektrum an Funktionen und automatisierten Funktionen eignet es sich hervorragend für Serientests und Inspektionen. Es ist eine ausgezeichnete Wahl für Hersteller, die nach einer fortschrittlichen und zuverlässigen Plattform suchen, um den Ertrag zu maximieren und Ausfallzeiten zu reduzieren.
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